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发明专利
半導體元件及製造金屬半導體接點之方法有权
简体标题：半导体组件及制造金属半导体接点之方法

公开(公告)号：TWI449183B

公开(公告)日：2014-08-11

申请号：TW097120560

申请日：2008-06-03

申请人： 首德太陽能股份有限公司 , SCHOTT SOLAR AG

发明人： 伯恩偉爾德佩納 , BERND WILDPANNER , 希爾馬坎普 , DR. HILMAR VON CAMPE , 沃納巴斯 , WERNER BUSS

IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/042 , H01L23/482 , H01L31/18

CPC分类号： H01L31/022425 , Y02E10/50 , Y10T428/12708