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公开(公告)号:TW201638897A
公开(公告)日:2016-11-01
申请号:TW104114009
申请日:2015-04-30
申请人: 鴻富錦精密工業(武漢)有限公司 , HONG FU JIN PRECISION INDUSTRY (WUHAN) CO., LTD. , 鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人: 翟凱樂 , ZHAI, KAI-LE , 陳俊生 , CHEN, CHUN-SHENG
IPC分类号: G08B21/24
摘要: 一種距離檢測系統,包括一振動提示電路及一提示模組,所述振動提示電路包括一距離感應器、一處理器及一比較模組,所述距離感應器連接所述處理器,所述處理器連接所述比較模組,所述比較模組連接所述提示模組,所述距離感應器用於感應一待測物後發送一距離值給所述處理器,所述處理器用於將所述距離值轉換為一當前值後將所述當前值發送給所述比較模組,所述比較模組用於比較所述當前值與一參考值之關係,所述提示模組用於在所述當前值大於所述參考值時產生振動。本發明還提供一振動提示電路及振動提示方法。
简体摘要: 一种距离检测系统,包括一振动提示电路及一提示模块,所述振动提示电路包括一距离感应器、一处理器及一比较模块,所述距离感应器连接所述处理器,所述处理器连接所述比较模块,所述比较模块连接所述提示模块,所述距离感应器用于感应一待测物后发送一距离值给所述处理器,所述处理器用于将所述距离值转换为一当前值后将所述当前值发送给所述比较模块,所述比较模块用于比较所述当前值与一参考值之关系,所述提示模块用于在所述当前值大于所述参考值时产生振动。本发明还提供一振动提示电路及振动提示方法。
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公开(公告)号:TW201350342A
公开(公告)日:2013-12-16
申请号:TW101120823
申请日:2012-06-08
发明人: 蔡秉芳 , TSAI, PING FANG
CPC分类号: G01B21/16 , B41F33/16 , B41J11/36 , B41J19/205 , B65H2403/40 , B65H2403/43 , B65H2404/16
摘要: 一種印表機的進紙軸起始位置的識別裝置,包括一支架及一安裝於所述支架上的支座,所述支架包括一底壁及一安裝於所述底壁上的進紙軸,所述進紙軸包括一軸體及一固定於所述軸體上的齒輪部,所述印表機的進紙軸起始位置的識別裝置還包括一定位齒輪,所述定位齒輪包括一齒輪本體及一連接所述齒輪本體的標識,所述支座包括一對應所述定位齒輪的感應器,所述齒輪部與所述定位齒輪的齒輪本體的大小相同,所述齒輪部用於轉動而帶動所述定位齒輪轉動,所述感應器用於感應所述標識的位置而確定所述進紙軸的進行換行補償的起始位置。
简体摘要: 一种打印机的进纸轴起始位置的识别设备,包括一支架及一安装于所述支架上的支座,所述支架包括一底壁及一安装于所述底壁上的进纸轴,所述进纸轴包括一轴体及一固定于所述轴体上的齿轮部,所述打印机的进纸轴起始位置的识别设备还包括一定位齿轮,所述定位齿轮包括一齿轮本体及一连接所述齿轮本体的标识,所述支座包括一对应所述定位齿轮的感应器,所述齿轮部与所述定位齿轮的齿轮本体的大小相同,所述齿轮部用于转动而带动所述定位齿轮转动,所述感应器用于感应所述标识的位置而确定所述进纸轴的进行换行补偿的起始位置。
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公开(公告)号:TWI513953B
公开(公告)日:2015-12-21
申请号:TW101110497
申请日:2012-03-27
发明人: 張旨光 , CHANG, CHIH KUANG , 吳新元 , WU, XIN-YUAN , 劉義 , LIU, YI
IPC分类号: G01B11/24
CPC分类号: G01B21/16 , G06T17/00 , G06T2210/56
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公开(公告)号:TW201411680A
公开(公告)日:2014-03-16
申请号:TW102120833
申请日:2013-06-11
申请人: 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人: 優美薩拉 烏潘卓 , UMMETHALA, UPENDRA , 哈爾 雷頓 , HALE, LAYTON , 克萊尼 賈許 , CLYNE, JOSH , 奈飛 薩米爾 , NAYFEH, SAMIR , 威廉斯 馬克 , WILLIAMS, MARK , 迪瑞吉羅 約瑟夫A , DIREGOLO, JOSEPH A. , 威爾森 安卓 , WILSON, ANDREW
IPC分类号: H01J37/20 , H01J37/317 , G03F7/20
CPC分类号: G01B11/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01B11/14 , G01B21/16 , G03F7/70716 , G03F7/70775 , G03F7/70816 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3174 , H01J2237/2445 , H01J2237/24578 , H01J2237/30433 , H01J2237/30438
摘要: 本發明揭示一種適用於反射電子束微影技術(REBL)之平臺精密測定,其包含:一干涉儀平臺精密測定系統,其經組態以量測一短衝程晶圓掃描平臺之位置及旋轉,其中該干涉儀精密測定系統針對各量測軸包含兩個或更多個干涉儀,其中在該短衝程晶圓掃描平臺之一第一表面上安置一第一干涉儀反射鏡且在該短衝程晶圓掃描平臺之一第二表面上安置一第二干涉儀反射鏡;及一控制系統,其經組態以使用來自與該第一干涉儀反射鏡相關聯之該兩個或更多個干涉儀之兩個或更多個干涉儀量測判定該第一干涉儀反射鏡之一形狀誤差,且使用來自與該第二干涉儀反射鏡相關聯之該兩個或更多個干涉儀之兩個或更多個干涉儀量測判定該第二干涉儀反射鏡之一形狀誤差。
简体摘要: 本发明揭示一种适用于反射电子束微影技术(REBL)之平台精密测定,其包含:一干涉仪平台精密测定系统,其经组态以量测一短冲程晶圆扫描平台之位置及旋转,其中该干涉仪精密测定系统针对各量测轴包含两个或更多个干涉仪,其中在该短冲程晶圆扫描平台之一第一表面上安置一第一干涉仪反射镜且在该短冲程晶圆扫描平台之一第二表面上安置一第二干涉仪反射镜;及一控制系统,其经组态以使用来自与该第一干涉仪反射镜相关联之该两个或更多个干涉仪之两个或更多个干涉仪量测判定该第一干涉仪反射镜之一形状误差,且使用来自与该第二干涉仪反射镜相关联之该两个或更多个干涉仪之两个或更多个干涉仪量测判定该第二干涉仪反射镜之一形状误差。
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公开(公告)号:TW201339535A
公开(公告)日:2013-10-01
申请号:TW101110497
申请日:2012-03-27
发明人: 張旨光 , CHANG, CHIH KUANG , 吳新元 , WU, XIN-YUAN , 劉義 , LIU, YI
IPC分类号: G01B11/24
CPC分类号: G01B21/16 , G06T17/00 , G06T2210/56
摘要: 一種點雲間隙與斷差量測系統計方法,該系統用於:過濾待測零件初始點雲中的雜點,並從過濾後的點雲中選擇第一組點群和第二組點群,將其重新組合成一個新點雲;從該新點雲中選擇需要擬合的點,對所選擇的點進行擬合得到一個擬合圖形;根據該擬合圖形生成一個基準圖形;從所述第一組點群和第二組點群中選擇曲率最大的第一選取點和第二選取點;計算待測零件點雲的間隙值和斷差值並將其輸出到顯示設備上。利用本發明可以自動自動過濾待測零件點雲中的雜點,再自動確定一個基準圖形並從過濾後的點雲中選取特定的量測點。
简体摘要: 一种点云间隙与断差量测系统计方法,该系统用于:过滤待测零件初始点云中的杂点,并从过滤后的点云中选择第一组点群和第二组点群,将其重新组合成一个新点云;从该新点云中选择需要拟合的点,对所选择的点进行拟合得到一个拟合图形;根据该拟合图形生成一个基准图形;从所述第一组点群和第二组点群中选择曲率最大的第一选取点和第二选取点;计算待测零件点云的间隙值和断差值并将其输出到显示设备上。利用本发明可以自动自动过滤待测零件点云中的杂点,再自动确定一个基准图形并从过滤后的点云中选取特定的量测点。
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公开(公告)号:TWI585804B
公开(公告)日:2017-06-01
申请号:TW102120833
申请日:2013-06-11
申请人: 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人: 優美薩拉 烏潘卓 , UMMETHALA, UPENDRA , 哈爾 雷頓 , HALE, LAYTON , 克萊尼 賈許 , CLYNE, JOSH , 奈飛 薩米爾 , NAYFEH, SAMIR , 威廉斯 馬克 , WILLIAMS, MARK , 迪瑞吉羅 約瑟夫A , DIREGOLO, JOSEPH A. , 威爾森 安卓 , WILSON, ANDREW
IPC分类号: H01J37/20 , H01J37/317 , G03F7/20
CPC分类号: G01B11/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01B11/14 , G01B21/16 , G03F7/70716 , G03F7/70775 , G03F7/70816 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/3174 , H01J2237/2445 , H01J2237/24578 , H01J2237/30433 , H01J2237/30438
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公开(公告)号:TWI581216B
公开(公告)日:2017-05-01
申请号:TW104114009
申请日:2015-04-30
申请人: 鴻富錦精密工業(武漢)有限公司 , HONG FU JIN PRECISION INDUSTRY (WUHAN) CO., LTD. , 鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人: 翟凱樂 , ZHAI, KAI-LE , 陳俊生 , CHEN, CHUN-SHENG
IPC分类号: G08B21/24
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公开(公告)号:TW201546994A
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:TW103129611
申请日:2014-08-27
发明人: 楊靖哲 , YANG, CHINGCHE , 黃昱嘉 , HUANG, YUCHIA , 吳韋良 , WU, WEILIANG
IPC分类号: H01L23/544 , H01L21/66 , H01L21/027
CPC分类号: G01B21/16 , G03F7/70633 , H01L22/12 , H01L22/30
摘要: 本公開提供具有偏移量測量標記的多層結構及其偏移量的測量方法,多層結構包括:第一堆疊層;第二堆疊層;形成於該第一堆疊層上的基準圖案結構;及形成於該第二堆疊層上的對位圖案結構,該第一堆疊層上的基準圖案結構包括第一基準圖案和第二基準圖案,第二堆疊層上的對位圖案結構包括第一對位圖案和第二對位圖案,當第一堆疊層與第二堆疊層堆疊時,第一對位標記的其中之一與第一方框的其中之一在X方向對齊,第二對位標記的其中之一與第二方框的其中之一在Y方向對齊,該對齊的第一方框所對應的第一橫向偏移量為第一堆疊層與第二堆疊層在X方向的偏移量,該對齊的第二方框所對應的第一縱向偏移量為第一堆疊層與第二堆疊層在Y方向的偏移量。
简体摘要: 本公开提供具有偏移量测量标记的多层结构及其偏移量的测量方法,多层结构包括:第一堆栈层;第二堆栈层;形成于该第一堆栈层上的基准图案结构;及形成于该第二堆栈层上的对位图案结构,该第一堆栈层上的基准图案结构包括第一基准图案和第二基准图案,第二堆栈层上的对位图案结构包括第一对位图案和第二对位图案,当第一堆栈层与第二堆栈层堆栈时,第一对位标记的其中之一与第一方框的其中之一在X方向对齐,第二对位标记的其中之一与第二方框的其中之一在Y方向对齐,该对齐的第一方框所对应的第一横向偏移量为第一堆栈层与第二堆栈层在X方向的偏移量,该对齐的第二方框所对应的第一纵向偏移量为第一堆栈层与第二堆栈层在Y方向的偏移量。
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公开(公告)号:TW201306351A
公开(公告)日:2013-02-01
申请号:TW101112283
申请日:2012-04-06
发明人: 油原浩 , YUHARA, HIROSHI , 山下學 , YAMASHITA, MANABU
IPC分类号: H01M10/04
CPC分类号: G01B21/16 , B29C65/18 , B29C65/48 , B29C65/56 , B29C65/7847 , B29C65/80 , B29C66/1122 , B29C66/21 , B29C66/433 , B29C66/81429 , B29C66/83543 , B29L2031/3468 , H01M10/0404 , H01M10/0463 , H01M10/0525 , H01M10/0585 , Y02E60/122 , Y02P70/54
摘要: 本發明之位置檢測裝置(200)係具有:按壓部(240),其係將由被捲繞成滾輪狀的薄片素材(D)被切出且構成電池要素的薄片構件(22),對平坦的基準面(215)進行按壓;及位置檢測部(230),其係檢測藉由按壓部(240)而被按壓在基準面(215)的薄片構件(22)的位置。接著,將藉由位置檢測部(230)所被檢測到的薄片構件(22)的位置,在之後的工程中作為薄片構件(22)的位置資訊加以使用。
简体摘要: 本发明之位置检测设备(200)系具有:按压部(240),其系将由被卷绕成滚轮状的薄片素材(D)被切出且构成电池要素的薄片构件(22),对平坦的基准面(215)进行按压;及位置检测部(230),其系检测借由按压部(240)而被按压在基准面(215)的薄片构件(22)的位置。接着,将借由位置检测部(230)所被检测到的薄片构件(22)的位置,在之后的工程中作为薄片构件(22)的位置信息加以使用。
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公开(公告)号:TWI603055B
公开(公告)日:2017-10-21
申请号:TW105120583
申请日:2016-06-29
发明人: 鄧君浩 , DENG, JUN HAO , 林冠文 , LIN, KUAN WEN , 秦聖基 , CHIN, SHENG CHI , 李雨青 , LEE, YU CHING
IPC分类号: G01B17/00
CPC分类号: G01N29/44 , B08B3/04 , B08B5/02 , B08B13/00 , G01B17/00 , G01B21/16 , G01N2291/044 , H01L21/02041 , H01L21/02282 , H01L21/02623 , H01L21/288 , H01L21/67253 , H01L22/10
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