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公开(公告)号：TW201439382A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：TW103109690
申请日：2014-03-14
发明人： 威爾森葛瑞格里J , WILSON, GREGORY J. , 麥克修保羅R , MCHUGH, PAUL R. , 伍德拉夫丹尼爾J , WOODRUFF, DANIEL J.
IPC分类号： C25D21/12 , C25D17/06 , H01L21/288 , H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/67
CPC分类号： G01N27/18 , G01N33/004 , G01N33/006
摘要： 提供一種與用於電鍍基板(諸如，半導體晶圓)之處理器一起使用之偵測夾具，以偵測該處理器的筒體中的電解液水平面。該偵測到的電解液水平面用於控制將基板引入到電解液中，以實現所期望的電解液潤濕特性。該處理器具有基板固持器，該基板固持器支撐在一升降器上，該升降器用於使該基板固持器下降到筒體中。偵測夾具可模擬基板且被基板固持器以基板固持器固持基板之相同方式固持。該升降器使偵測夾具下降，直至該偵測夾具接觸該電解液，其中夾具位置指示電解液水平面。隨後自處理器移除偵測夾具。
简体摘要： 提供一种与用于电镀基板(诸如，半导体晶圆)之处理器一起使用之侦测夹具，以侦测该处理器的筒体中的电解液水平面。该侦测到的电解液水平面用于控制将基板引入到电解液中，以实现所期望的电解液润湿特性。该处理器具有基板固持器，该基板固持器支撑在一升降器上，该升降器用于使该基板固持器下降到筒体中。侦测夹具可仿真基板且被基板固持器以基板固持器固持基板之相同方式固持。该升降器使侦测夹具下降，直至该侦测夹具接触该电解液，其中夹具位置指示电解液水平面。随后自处理器移除侦测夹具。
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公开(公告)号：TWI497072B
公开(公告)日：2015-08-21
申请号：TW100114801
申请日：2011-04-28
发明人： 橘宏明 , TACHIBANA, HIROAKI , 辻幸司 , TSUJI, KOJI
IPC分类号： G01N33/53 , G01N33/543 , G01N35/10 , G01N1/28 , G01N1/22
CPC分类号： B01L3/5027 , B01L2300/0645 , B01L2300/0825 , B01L2300/1822 , B01L2400/0406 , G01N1/2214 , G01N33/006 , G01N2001/2217 , G01N2001/2282
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公开(公告)号：TW201207394A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW100114801
申请日：2011-04-28
申请人： 松下電工股份有限公司
IPC分类号： G01N
CPC分类号： B01L3/5027 , B01L2300/0645 , B01L2300/0825 , B01L2300/1822 , B01L2400/0406 , G01N1/2214 , G01N33/006 , G01N2001/2217 , G01N2001/2282
摘要： 本發明提供一種以簡便的方法使氣體中的被測定物質溶解於液體中之化學感測器。該化學感測器具有:感測器固持部11;氣體注入孔12,注入含有被測定物質之氣體;試樣採取部13,採取從氣體注入孔12注入的氣體所含有之被測定物質;試樣運送部14,將由試樣採取部13所採取之被測定物質運送至試樣反應部15;試樣反應部15,具有與由試樣運送部14所運送之被測定物質產生既定反應之反應物質;以及檢測部16,檢測在試樣反應部15中與反應物質產生反應之被測定物質。試樣採取部13,具有將由氣體注入孔12注入的氣體所含有之水蒸氣液化之帕耳帖元件。
简体摘要： 本发明提供一种以简便的方法使气体中的被测定物质溶解于液体中之化学传感器。该化学传感器具有:传感器固持部11;气体注入孔12,注入含有被测定物质之气体;试样采取部13,采取从气体注入孔12注入的气体所含有之被测定物质;试样运送部14,将由试样采取部13所采取之被测定物质运送至试样反应部15;试样反应部15,具有与由试样运送部14所运送之被测定物质产生既定反应之反应物质;以及检测部16,检测在试样反应部15中与反应物质产生反应之被测定物质。试样采取部13,具有将由气体注入孔12注入的气体所含有之水蒸气液化之帕耳帖组件。
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