由電腦所產生之全像圖、曝光設備及裝置製造方法 COMPUTER GENERATED HOLOGRAM, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE FABRICATION METHOD
    6.
    发明专利
    由電腦所產生之全像圖、曝光設備及裝置製造方法 COMPUTER GENERATED HOLOGRAM, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE FABRICATION METHOD 失效
    由电脑所产生之全像图、曝光设备及设备制造方法 COMPUTER GENERATED HOLOGRAM, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE FABRICATION METHOD

    公开(公告)号:TW201009507A

    公开(公告)日:2010-03-01

    申请号:TW098118377

    申请日:2009-06-03

    发明人: 松原功

    IPC分类号: G03F G06F G03H

    摘要: 本發明提供電腦產生的全像圖,電腦產生的全像圖包含多個單元,多個單元在預定平面上形成光強度分佈,多個單元包含多個第一單元及多個第二單元,多個第一單元包含各向同性介質及各向異性介質,多個第二單元僅包含各向異性介質,其中,多個單元改變照射於多個單元中的每一個單元上的入射光的相位,以對第一方向上線性極化光分量的波前與垂直於第一方向的第二方向上的線性極化光分量的波前中的每一個波前,形成包含N(N≧2)的相位分佈。

    简体摘要: 本发明提供电脑产生的全像图,电脑产生的全像图包含多个单元,多个单元在预定平面上形成光强度分布,多个单元包含多个第一单元及多个第二单元,多个第一单元包含各向同性介质及各向异性介质,多个第二单元仅包含各向异性介质,其中,多个单元改变照射于多个单元中的每一个单元上的入射光的相位,以对第一方向上线性极化光分量的波前与垂直于第一方向的第二方向上的线性极化光分量的波前中的每一个波前,形成包含N(N≧2)的相位分布。