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    電源管理裝置及具備該電源管理裝置之工作機械
    1.
    发明专利
    電源管理裝置及具備該電源管理裝置之工作機械 审中-公开
    电源管理设备及具备该电源管理设备之工作机械

    公开(公告)号：TW201241587A

    公开(公告)日：2012-10-16

    申请号：TW100135613

    申请日：2011-09-30

    Applicant: 西鐵城控股股份有限公司 ,  西鐵城精機宮野股份有限公司

    Inventor： 松丸肇 ,  秋元曉 ,  松本仁 ,  澀井友隆 ,  露崎梅夫 ,  篠原浩 ,  柳平茂夫

    IPC: G05B

    CPC classification number: G06F1/3203 ,  G05B15/02 ,  G05B19/18 ,  G05B2219/32021 ,  G05B2219/34306 ,  G05B2219/34315 ,  G05F5/00 ,  G06F1/26 ,  H02J3/14 ,  Y02P70/161 ,  Y02P70/163 ,  Y02P70/169 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/205

    Abstract: 本發明係一種電源管理裝置及具備此電源管理裝置之工作機械，其中，提供可效率佳接斷對於電動部之電源的供給之電源管理裝置及具備此電源管理裝置之工作機械。電源管理裝置(101)係檢測出控制程式之待機指令，依據檢測出之待機指令，以此待機指令比較在成為待機對象之各控制系統之待機間的電動部之作動時間。接著，電源管理裝置(101)係將對於屬於待機間之電動部之作動時間成為最大之控制系統以外之控制系統的電動部之電源的供給，於在各控制系統之控制結束後進行遮斷，在各控制系統之待機結束時，再開始電源之供給。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明系一种电源管理设备及具备此电源管理设备之工作机械，其中，提供可效率佳接断对于电动部之电源的供给之电源管理设备及具备此电源管理设备之工作机械。电源管理设备(101)系检测出控制进程之待机指令，依据检测出之待机指令，以此待机指令比较在成为待机对象之各控制系统之待机间的电动部之作动时间。接着，电源管理设备(101)系将对于属于待机间之电动部之作动时间成为最大之控制系统以外之控制系统的电动部之电源的供给，于在各控制系统之控制结束后进行遮断，在各控制系统之待机结束时，再开始电源之供给。

    對位機構的回歸控制器
    3.
    发明专利
    對位機構的回歸控制器 有权
    对位机构的回归控制器

    公开(公告)号：TW201409194A

    公开(公告)日：2014-03-01

    申请号：TW101130418

    申请日：2012-08-22

    Applicant: 全研科技有限公司

    Inventor： 邱毓英 ,  李浩瑋

    IPC: G05B19/18

    CPC classification number: Y02P70/163

    Abstract: 一種對位機構的回歸控制器，包含有：一對位裝置、四致動器、一控制器組構而成；當對位機構因致動器運動不同步造成支撐體產生干涉卡死的情況時，則控制器先斷開線性馬達電源，次，再以復歸訊號傳送給三傳動螺桿，使三傳動螺桿以反方向帶動推力裝置向三原點復歸，當三傳動螺桿復歸完成後，控制器接續對線性馬達導通電源與發出一復歸訊號，使該線性馬達向原點復歸，如此完成四推力裝置對四致動器原點復歸。

    Abstract in simplified Chinese: 一种对位机构的回归控制器，包含有：一对位设备、四致动器、一控制器组构而成；当对位机构因致动器运动不同步造成支撑体产生干涉卡死的情况时，则控制器先断开线性马达电源，次，再以复归信号发送给三传动螺杆，使三传动螺杆以反方向带动推力设备向三原点复归，当三传动螺杆复归完成后，控制器接续对线性马达导通电源与发出一复归信号，使该线性马达向原点复归，如此完成四推力设备对四致动器原点复归。

    偵測處理設備閒置模式之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING AN IDLE MODE OF PROCESSING EQUIPMENT
    5.
    发明专利
    偵測處理設備閒置模式之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING AN IDLE MODE OF PROCESSING EQUIPMENT 审中-公开
    侦测处理设备闲置模式之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING AN IDLE MODE OF PROCESSING EQUIPMENT

    公开(公告)号：TW201024939A

    公开(公告)日：2010-07-01

    申请号：TW098134184

    申请日：2009-10-08

    Applicant: 應用材料股份有限公司

    Inventor： 史喬爾羅納德

    IPC: G05B

    CPC classification number: G05B19/41865 ,  G05B2219/31455 ,  G05B2219/34306 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P70/163 ,  Y02P90/20

    Abstract: 在本文中提供偵測處理設備之一閒置模式的方法及裝置。在一些實施例中,一種監視一處理系統之裝置可包括一第一系統配接器,其用於監視一第一製程腔室及確定其一狀態;及一第一支援配接器,其用於與耦接至該第一製程腔室之該第一系統配接器及一第一支援系統通信,該支援配接器經組態以回應於處於一閒置模式的該第一製程腔室之該狀態而將一在一低功率模式下操作該第一支援系統之預備狀態傳達至該支援系統之一控制器。

    Abstract in simplified Chinese: 在本文中提供侦测处理设备之一闲置模式的方法及设备。在一些实施例中,一种监视一处理系统之设备可包括一第一系统配接器,其用于监视一第一制程腔室及确定其一状态;及一第一支持配接器,其用于与耦接至该第一制程腔室之该第一系统配接器及一第一支持系统通信,该支持配接器经组态以回应于处于一闲置模式的该第一制程腔室之该状态而将一在一低功率模式下操作该第一支持系统之预备状态传达至该支持系统之一控制器。

    被處理體處理系統及其控制方法
    6.
    发明专利
    被處理體處理系統及其控制方法 审中-公开
    被处理体处理系统及其控制方法

    公开(公告)号：TW200943010A

    公开(公告)日：2009-10-16

    申请号：TW097150690

    申请日：2008-12-25

    Applicant: 東京威力科創股份有限公司

    Inventor： 小林賢一 ,  仲山陽一 ,  志岐啟一郎

    IPC: G05B ,  H01L

    CPC classification number: G05B19/4148 ,  G05B2219/31418 ,  G05B2219/34306 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P70/163 ,  Y02P70/605

    Abstract: 本發明，係為對於被處理體進行特定之處理的處理系統，其特徵為，具備有：對被處理體進行處理之一或複數的處理裝置；和對前述處理裝置作控制之控制器，前述控制器，係被構成為：當該控制器之電源被切斷時，能夠選擇性地控制為下述之任一狀態：使構成前述處理裝置之複數的終端裝置全部停止的停止狀態、和在前述複數之終端裝置的一部份又或是全部中完成了對於被處理體進行處理之準備的待機狀態。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明，系为对于被处理体进行特定之处理的处理系统，其特征为，具备有：对被处理体进行处理之一或复数的处理设备；和对前述处理设备作控制之控制器，前述控制器，系被构成为：当该控制器之电源被切断时，能够选择性地控制为下述之任一状态：使构成前述处理设备之复数的终端设备全部停止的停止状态、和在前述复数之终端设备的一部份又或是全部中完成了对于被处理体进行处理之准备的待机状态。

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