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    基板處理裝置、基板處理系統、基板處理裝置之控制方法及記錄媒體
    2.
    发明专利
    基板處理裝置、基板處理系統、基板處理裝置之控制方法及記錄媒體 审中-公开
    基板处理设备、基板处理系统、基板处理设备之控制方法及记录媒体

    公开(公告)号：TW201417204A

    公开(公告)日：2014-05-01

    申请号：TW102125623

    申请日：2013-07-17

    申请人： 大日本網屏製造股份有限公司 ,  DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.

    发明人： 中村康則 ,  NAKAMURA, YASUNORI ,  中川信彥 ,  NAKAGAWA, NOBUHIKO ,  川島尙彥 ,  KAWASHIMA, NAOHIKO

    IPC分类号： H01L21/67 ,  G05B19/418

    CPC分类号： G05B15/02 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32021 ,  G05B2219/34306 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P70/161 ,  Y02P70/163 ,  Y02P70/605 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/02 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/205

    摘要： 本發明之基板處理裝置係設置有複數個功能部200、300、400、500，其等選擇性地採取可對基板執行各自所承擔之任務處理之運轉狀態、與能量之消耗量少於運轉狀態之待機狀態；及裝置控制部50，其於運轉狀態與待機狀態之間，控制各功能部200、300、400、500之狀態，並且於執行規定對基板之處理順序之製程配方時，使承擔與製程配方對應之任務處理之功能部採取運轉狀態，執行任務處理。而且，若被賦予以後所執行之預定之製程配方即預定執行製程配方，則裝置控制部50自複數個功能部200、300、400、500中確定可承擔與預定執行製程配方對應之任務處理之功能部，求出使經確定之功能部恢復為運轉狀態所需之資源之消耗量。

    简体摘要： 本发明之基板处理设备系设置有复数个功能部200、300、400、500，其等选择性地采取可对基板运行各自所承担之任务处理之运转状态、与能量之消耗量少于运转状态之待机状态；及设备控制部50，其于运转状态与待机状态之间，控制各功能部200、300、400、500之状态，并且于运行规定对基板之处理顺序之制程配方时，使承担与制程配方对应之任务处理之功能部采取运转状态，运行任务处理。而且，若被赋予以后所运行之预定之制程配方即预定运行制程配方，则设备控制部50自复数个功能部200、300、400、500中确定可承担与预定运行制程配方对应之任务处理之功能部，求出使经确定之功能部恢复为运转状态所需之资源之消耗量。

    基板處理裝置之控制裝置及基板處理裝置之控制方法
    3.
    发明专利
    基板處理裝置之控制裝置及基板處理裝置之控制方法 审中-公开
    基板处理设备之控制设备及基板处理设备之控制方法

    公开(公告)号：TW200802561A

    公开(公告)日：2008-01-01

    申请号：TW096107875

    申请日：2007-03-07

    申请人： 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED

    发明人： 飯島清仁 IIJIMA, KIYOHITO

    IPC分类号： H01L

    CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/32021 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67276 ,  Y02P70/161 ,  Y02P70/605 ,  Y02P80/114 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/205 ,  Y02P90/265

    摘要： 本發明之課題在於提供一種,以整合條件而降低消耗能源之方式地控制基板處理裝置之控制裝置。本發明之解決手段為,資料庫250係對PM400中所設置之各個單元,預先記憶從一般模式往省能源模式(節約模式、休眠模式、冬眠模式)之移行時間A,以及能省源模式往一般模式之回復時間B。管理部270係根據所記憶之各個單元的省能源模式移行時間A及省能源模式回復時間B,使用省能源開始計時器285a及省能源結束計時器285b,以管理每個單元之往省能源模式移行的開始時刻以及從省能源模式回復的開始時刻。單元控制部260係因應移行開始時刻及回復開始時刻,以使各個單元從一般模式移行至省能源模式以及從省能源模式回復至一般模式之方式,各自獨立控制各個單元。

    简体摘要： 本发明之课题在于提供一种,以集成条件而降低消耗能源之方式地控制基板处理设备之控制设备。本发明之解决手段为,数据库250系对PM400中所设置之各个单元,预先记忆从一般模式往省能源模式(节约模式、休眠模式、冬眠模式)之移行时间A,以及能省源模式往一般模式之回复时间B。管理部270系根据所记忆之各个单元的省能源模式移行时间A及省能源模式回复时间B,使用省能源开始计时器285a及省能源结束计时器285b,以管理每个单元之往省能源模式移行的开始时刻以及从省能源模式回复的开始时刻。单元控制部260系因应移行开始时刻及回复开始时刻,以使各个单元从一般模式移行至省能源模式以及从省能源模式回复至一般模式之方式,各自独立控制各个单元。

    簡化系統架構之方法和裝置 METHOD AND APPARATUS FOR SIMPLIFIED SYSTEM CONFIGURATION
    4.
    发明专利
    簡化系統架構之方法和裝置 METHOD AND APPARATUS FOR SIMPLIFIED SYSTEM CONFIGURATION 审中-公开
    简化系统架构之方法和设备 METHOD AND APPARATUS FOR SIMPLIFIED SYSTEM CONFIGURATION

    公开(公告)号：TW200401224A

    公开(公告)日：2004-01-16

    申请号：TW092108152

    申请日：2003-04-09

    申请人： 東京威力科創有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED

    发明人： 馬利特 馮克 FUNK , MERRITT ,  陳瑋 CHEN, WEI

    IPC分类号： G06F

    CPC分类号： G05B19/042 ,  G05B19/418 ,  G05B19/4187 ,  G05B2219/32128 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/14 ,  Y02P90/205 ,  Y02P90/86

    摘要： 本發明提供了一種用來設定一半導體處理系統的組態及起始值之圖形使用者介面(GUI)，該半導體處理系統包含若干製程工具、若干製程模組、若干感測器、若干製程模組、及一警示管理系統。該圖形顯示幕被組織成可清楚地及邏輯地顯示所有重要的參數，讓使用者可在所能達到的最少輸入下執行所需的組態設定、起始值設定、及疑難排解工作。該GUI係基於網路，且使用者可使用一網路瀏覽器來檢視該GUI。

    简体摘要： 本发明提供了一种用来设置一半导体处理系统的组态及起始值之图形用户界面(GUI)，该半导体处理系统包含若干制程工具、若干制程模块、若干传感器、若干制程模块、及一警示管理系统。该图形显示幕被组织成可清楚地及逻辑地显示所有重要的参数，让用户可在所能达到的最少输入下运行所需的组态设置、起始值设置、及疑难排解工作。该GUI系基于网络，且用户可使用一网络浏览器来视图该GUI。

    在一薄板製造機中決定刀具及薄板工件之相容性的方法及用於其之系統 METHOD OF DETERMINING COMPATIBILITY OF TOOL AND WORKSHEET IN A SHEET FABRICATION MACHINE AND SYSTEM THEREFOR
    8.
    发明专利
    在一薄板製造機中決定刀具及薄板工件之相容性的方法及用於其之系統 METHOD OF DETERMINING COMPATIBILITY OF TOOL AND WORKSHEET IN A SHEET FABRICATION MACHINE AND SYSTEM THEREFOR 审中-公开
    在一薄板制造机中决定刀具及薄板工件之兼容性的方法及用于其之系统 METHOD OF DETERMINING COMPATIBILITY OF TOOL AND WORKSHEET IN A SHEET FABRICATION MACHINE AND SYSTEM THEREFOR

    公开(公告)号：TW200734079A

    公开(公告)日：2007-09-16

    申请号：TW096105206

    申请日：2007-02-13

    申请人： 芬蘭人力國際公司 FINN-POWER INTERNATIONAL, INC.

    发明人： 米寇 林德史川 LINDSTROM, MIKKO

    IPC分类号： B21D ,  B30B ,  G05B

    CPC分类号： G05B19/4065 ,  G05B2219/32422 ,  G05B2219/36347 ,  G05B2219/37228 ,  G05B2219/37234 ,  G05B2219/37252 ,  G05B2219/37258 ,  G05B2219/37559 ,  G05B2219/45131 ,  G05B2219/50237 ,  G05B2219/50276 ,  Y02P90/205

    摘要： 為決定一刀具是否可被順利地用於在薄板製造機中製造一薄板工件,有關所有可被用於該機器之刀具的資料被儲存於一刀具資料庫中,該等刀具資料係如藉由那些刀具之製造者所提供的資料。可被藉由該機器所使用之薄板工件的尺寸資料及特性係儲存於一薄板工件資料庫中。當一給定之薄板工件要被製造時,決定一刀具是否可被用於製造該薄板工件,而不會對該薄板工件、該刀具及其之衝模、及/或該機器造成可能之損壞。用於該刀具之剩餘研磨壽命被用以藉著使用該給定薄板工件上之刀具決定可否獲得在該刀具及其之衝模間之適當容隙。如果已決定該刀具不可用於一給定之薄板工件,該刀具會被標示及保留用於在具有一材料厚度之薄板工件上,該材料厚度係比該給定之薄板工件的材料厚度薄。接著選擇一適當之刀具,其確能提供合適之容隙及具有該適當之剩餘研磨壽命,用於在該給定之薄板工件上加工。

    简体摘要： 为决定一刀具是否可被顺利地用于在薄板制造机中制造一薄板工件,有关所有可被用于该机器之刀具的数据被存储于一刀具数据库中,该等刀具数据系如借由那些刀具之制造者所提供的数据。可被借由该机器所使用之薄板工件的尺寸数据及特性系存储于一薄板工件数据库中。当一给定之薄板工件要被制造时,决定一刀具是否可被用于制造该薄板工件,而不会对该薄板工件、该刀具及其之冲模、及/或该机器造成可能之损坏。用于该刀具之剩余研磨寿命被用以借着使用该给定薄板工件上之刀具决定可否获得在该刀具及其之冲模间之适当容隙。如果已决定该刀具不可用于一给定之薄板工件,该刀具会被标示及保留用于在具有一材料厚度之薄板工件上,该材料厚度系比该给定之薄板工件的材料厚度薄。接着选择一适当之刀具,其确能提供合适之容隙及具有该适当之剩余研磨寿命,用于在该给定之薄板工件上加工。

    成形機管理系統、成形機、管理裝置以及成形機管理方法
    9.
    发明专利
    成形機管理系統、成形機、管理裝置以及成形機管理方法 审中-公开
    成形机管理系统、成形机、管理设备以及成形机管理方法

    公开(公告)号：TW200730334A

    公开(公告)日：2007-08-16

    申请号：TW095146420

    申请日：2006-12-12

    申请人： 住友重機械工業股份有限公司 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.

    发明人： 羽野勝之

    IPC分类号： B29C

    CPC分类号： B29C45/76 ,  B22D17/32 ,  B29C45/768 ,  B29C45/7686 ,  B29C2945/76153 ,  B29C2945/7629 ,  B29C2945/76464 ,  B29C2945/76939 ,  G05B19/4187 ,  G05B2219/36218 ,  G05B2219/49305 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/205

    摘要： 【課題】使得資料保護變得容易,並能夠抑制通訊負荷施加於網路和射出成形機。【解決手段】具有管理複數成形機的管理裝置。包括:資訊儲存處理裝置,其將由上述各成形機運轉而取得的基準資料儲存於儲存裝置;資訊加工處理裝置,其針對由上述各成形機運轉而取得的實績資料及基準資料執行特定的處理,以算出加工資料;資訊傳送處理裝置,其事先將該基準資料傳送到管理裝置,並隨時將加工資料傳送到管理裝置;資訊合成處理裝置,其將該基準資料及加工資料合成。由於各資料係儲存於各成形機的儲存裝置,因此易於保護資料。

    简体摘要： 【课题】使得数据保护变得容易,并能够抑制通信负荷施加于网络和射出成形机。【解决手段】具有管理复数成形机的管理设备。包括:信息存储处理设备,其将由上述各成形机运转而取得的基准数据存储于存储设备;信息加工处理设备,其针对由上述各成形机运转而取得的实绩数据及基准数据运行特定的处理,以算出加工数据;信息发送处理设备,其事先将该基准数据发送到管理设备,并随时将加工数据发送到管理设备;信息合成处理设备,其将该基准数据及加工数据合成。由于各数据系存储于各成形机的存储设备,因此易于保护数据。

    製造資訊管理方法及實現該方法之系統
    10.
    发明专利
    製造資訊管理方法及實現該方法之系統 审中-公开
    制造信息管理方法及实现该方法之系统

    公开(公告)号：TW200307209A

    公开(公告)日：2003-12-01

    申请号：TW092103591

    申请日：2003-02-20

    申请人： 大昭和精機股份有限公司 BIG DIASHOWA SEIKI CO., LTD. ,  比谷阿爾法股份有限公司 BIG ALPHA CO., LTD.

    发明人： 小峰毅 KOMINE, TSUYOSHI ,  中島秀人 NAKAJIMA, HIDEHITO ,  澤村功 SAWAMURA, ISAO

    IPC分类号： G06Q ,  G06F

    CPC分类号： G06Q10/087 ,  G05B2219/32422 ,  G05B2219/35494 ,  G06Q10/20 ,  Y02P90/04 ,  Y02P90/10 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/205

    摘要： 本發明之目的在讓工作機械器具之使用者可即時且容易地從供應商取得必要資訊，且供應商亦可促使用者取得必要資訊。本發明係一種利用經由網路互相連結之製造工廠側電腦與供應商側電腦來實施的製造資訊管理方法，該製造工廠側電腦係設於備有工作機械器具之製造工廠側，而該供應商側電腦係設於提供前述工作機械器具之供應商側。此製造資訊管理方法的特徵為包含：從儲存於裝設在該工作機械器具上之記錄媒體取得特定識別資訊之階段；依據該特定之識別資訊，對該供應商側電腦執行存取並取得特定服務資訊之階段；以及對使用者提示該特定服務資訊之階段。

    简体摘要： 本发明之目的在让工作机械器具之用户可实时且容易地从供应商取得必要信息，且供应商亦可促用户取得必要信息。本发明系一种利用经由网络互相链接之制造工厂侧电脑与供应商侧电脑来实施的制造信息管理方法，该制造工厂侧电脑系设于备有工作机械器具之制造工厂侧，而该供应商侧电脑系设于提供前述工作机械器具之供应商侧。此制造信息管理方法的特征为包含：从存储于装设在该工作机械器具上之记录媒体取得特定识别信息之阶段；依据该特定之识别信息，对该供应商侧电脑运行存取并取得特定服务信息之阶段；以及对用户提示该特定服务信息之阶段。