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    可攜式水質感測裝置
    1.
    发明专利
    可攜式水質感測裝置 审中-公开
    可携式水质传感设备

    公开(公告)号：TW202023143A

    公开(公告)日：2020-06-16

    申请号：TW107144830

    申请日：2018-12-12

    申请人： 富鈞水資股份有限公司 ,  FENRI CO., LTD. ,  捷騰光電股份有限公司 ,  SOLTEAM OPTO, INC.

    发明人： 吳尙容 ,  WU, SHANG JUNG ,  陳皇彬 ,  CHEN, HUANG BIN ,  陳晉豐 ,  CHEN, CHIN FENG ,  鄭詠紜 ,  CHENG, YUNG YUN

    IPC分类号： H02J7/34 ,  G01N27/00

    摘要： 本發明為有關一種可攜式水質感測裝置之電源模組改良，該水質感測裝置包括供偵測水域中的數位感測數值之感測模組，且感測模組包括至少一個需低電壓的電能驅動之第一感測器及至少一個需低電壓及高電壓的電能驅動且具自淨功能之第二感測器，再於感測模組一側電性連接有供分析數位感測數值之處理模組，而感測模組及處理模組另側電性連接有提供電能之電源模組，當水質感測裝置進行偵測作業時，該電源模組所具之供電源，即可提供高電壓的電能，並可透過降壓電路來將高電壓的電能降壓成低電壓的電能，以可藉由單一供電源來供給第一感測器及第二感測器使用，以避免電量消耗速度不同，且可防止感測模組回傳錯誤的檢測數值，進而提升水質檢測之準確度。

    简体摘要： 本发明为有关一种可携式水质传感设备之电源模块改良，该水质传感设备包括供侦测水域中的数码传感数值之传感模块，且传感模块包括至少一个需低电压的电能驱动之第一传感器及至少一个需低电压及高电压的电能驱动且具自净功能之第二传感器，再于传感模块一侧电性连接有供分析数码传感数值之处理模块，而传感模块及处理模块另侧电性连接有提供电能之电源模块，当水质传感设备进行侦测作业时，该电源模块所具之供电源，即可提供高电压的电能，并可透过降压电路来将高电压的电能降压成低电压的电能，以可借由单一供电源来供给第一传感器及第二传感器使用，以避免电量消耗速度不同，且可防止传感模块回传错误的检测数值，进而提升水质检测之准确度。

    垂直入射原位製程監測感測器
    2.
    发明专利
    垂直入射原位製程監測感測器 审中-公开
    垂直入射原位制程监测传感器

    公开(公告)号：TW202018810A

    公开(公告)日：2020-05-16

    申请号：TW108126709

    申请日：2019-07-29

    申请人： 日商東京威力科創股份有限公司 ,  TOKYO ELECTRON LIMITED

    发明人： 孟 慶麟 ,  MENG, CHING-LING ,  透傑 霍格 ,  TUITJE, HOLGER ,  趙 強 ,  ZHAO, QIANG ,  褚 漢友 ,  CHU, HANYOU ,  田 新康 ,  TIAN, XINKANG

    IPC分类号： H01L21/3065 ,  G01N27/00

    摘要： 一種用於電漿處理腔室中的原位蝕刻監測的設備、系統及方法。該設備包含一連續波寬頻光源以產生入射光束；一照明系統，其配置係用以將一入射光束以垂直入射於一基板的方向來照射該基板上的一區域；一採集系統，其係配置以採集自該基板上被照射的該區域所反射的反射光束，並且將該反射光束導向一偵測器；以及處理電路。該處理電路之配置係用以處理該反射光束以抑制背景光，並基於參考光束及經處理以抑制該背景光之該反射光束來判定該基板或形成於其上之結構的特性，並且基於所判定之該特性而控制蝕刻處理。

    简体摘要： 一种用于等离子处理腔室中的原位蚀刻监测的设备、系统及方法。该设备包含一连续波宽带光源以产生入射光束；一照明系统，其配置系用以将一入射光束以垂直入射于一基板的方向来照射该基板上的一区域；一采集系统，其系配置以采集自该基板上被照射的该区域所反射的反射光束，并且将该反射光束导向一侦测器；以及处理电路。该处理电路之配置系用以处理该反射光束以抑制背景光，并基于参考光束及经处理以抑制该背景光之该反射光束来判定该基板或形成于其上之结构的特性，并且基于所判定之该特性而控制蚀刻处理。