公开(公告)号：US08128738B2

公开(公告)日：2012-03-06

申请号：US11826368

申请日：2007-07-13

申请人： Kuen-Byul Kim ,  In-Gi Kim ,  Dae-Bum Park ,  Soung-Kil Ryu ,  Seung-Bu Baek ,  Seo-Hyun Kim

发明人： Kuen-Byul Kim ,  In-Gi Kim ,  Dae-Bum Park ,  Soung-Kil Ryu ,  Seung-Bu Baek ,  Seo-Hyun Kim

IPC分类号： B01D46/00

CPC分类号： H01L21/02057 ,  H01L21/67034

摘要： In a method of drying an object, a first drying fluid and a second dry fluid may be first heated to form a gas mixture. The gas mixture may be second heated to prevent the mixed gas from condensing. The second heated gas mixture may be filtered to remove impurities from the second heated mixed gas. The filtered mixed gas may be then applied to the object so as to dry the object.

摘要翻译： 在干燥物体的方法中，可以首先加热第一干燥流体和第二干燥流体以形成气体混合物。 气体混合物可以被第二次加热以防止混合气体冷凝。 可以过滤第二加热气体混合物以从第二加热混合气体中除去杂质。 然后将过滤的混合气体施加到物体上以干燥物体。

公开(公告)号：US20080022854A1

公开(公告)日：2008-01-31

申请号：US11826368

申请日：2007-07-13

申请人： Kuen-Byul Kim ,  In-Gi Kim ,  Dae-Bum Park ,  Soung-Kil Ryu ,  Seung-Bu Baek ,  Seo-Hyun Kim

发明人： Kuen-Byul Kim ,  In-Gi Kim ,  Dae-Bum Park ,  Soung-Kil Ryu ,  Seung-Bu Baek ,  Seo-Hyun Kim

IPC分类号： B01D46/00

CPC分类号： H01L21/02057 ,  H01L21/67034

摘要： In a method of drying an object, a first drying fluid and a second dry fluid may be first heated to form a gas mixture. The gas mixture may be second heated to prevent the mixed gas from condensing. The second heated gas mixture may be filtered to remove impurities from the second heated mixed gas. The filtered mixed gas may be then applied to the object so as to dry the object.

摘要翻译： 在干燥物体的方法中，可以首先加热第一干燥流体和第二干燥流体以形成气体混合物。 气体混合物可以被第二次加热以防止混合气体冷凝。 可以过滤第二加热气体混合物以从第二加热混合气体中除去杂质。 然后将过滤的混合气体施加到物体上以干燥物体。