公开(公告)号：US20070282767A1

公开(公告)日：2007-12-06

申请号：US11617957

申请日：2006-12-29

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Yeh-Tung Chen ,  Yu-Chuan Su

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Yeh-Tung Chen ,  Yu-Chuan Su

IPC分类号： G06N3/02

CPC分类号： G05B23/024

摘要： A method for evaluating reliance level of a virtual metrology system is disclosed. In this method, a reliance index (RI) and a RI threshold value are calculated by analyzing the process data of production equipment, thereby determining if the virtual metrology result is reliable. Besides, in this method, a global similarity index (GSI) and individual similarity indexes (ISI) are also provided for defining the degree of similarity between the current set of process data and all of the sets of historical process data used for establishing the conjecture model, thereby assisting the RI in gauging the degree of reliance and locating the key parameter(s) that cause major deviation.

摘要翻译： 公开了一种用于评估虚拟测量系统的可靠性水平的方法。 在该方法中，通过分析生产设备的过程数据来计算依赖指数（RI）和RI阈值，从而确定虚拟测量结果是否可靠。 此外，在该方法中，还提供了全局相似性指数（GSI）和个体相似性指数（ISI），用于定义当前流程数据集与用于建立猜想的所有历史过程数据集合之间的相似度 模型，从而帮助RI衡量依赖程度，定位导致重大偏差的关键参数。

公开(公告)号：US07593912B2

公开(公告)日：2009-09-22

申请号：US11617957

申请日：2006-12-29

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Yeh-Tung Chen ,  Yu-Chuan Su

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Yeh-Tung Chen ,  Yu-Chuan Su

IPC分类号： G06F15/00 ,  G06F15/18

CPC分类号： G05B23/024

摘要： A method for evaluating reliance level of a virtual metrology system is disclosed. In this method, a reliance index (RI) and a RI threshold value are calculated by analyzing the process data of production equipment, thereby determining if the virtual metrology result is reliable. Besides, in this method, a global similarity index (GSI) and individual similarity indexes (ISI) are also provided for defining the degree of similarity between the current set of process data and all of the sets of historical process data used for establishing the conjecture model, thereby assisting the RI in gauging the degree of reliance and locating the key parameter(s) that cause major deviation.

摘要翻译： 公开了一种用于评估虚拟测量系统的可靠性水平的方法。 在该方法中，通过分析生产设备的过程数据来计算依赖指数（RI）和RI阈值，从而确定虚拟测量结果是否可靠。 此外，在该方法中，还提供了全局相似性指数（GSI）和个体相似性指数（ISI），用于定义当前流程数据集与用于建立猜想的所有历史过程数据集合之间的相似度 模型，从而帮助RI衡量依赖程度，定位导致重大偏差的关键参数。