公开(公告)号：US07593912B2

公开(公告)日：2009-09-22

申请号：US11617957

申请日：2006-12-29

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Yeh-Tung Chen ,  Yu-Chuan Su

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Yeh-Tung Chen ,  Yu-Chuan Su

IPC分类号： G06F15/00 ,  G06F15/18

CPC分类号： G05B23/024

摘要： A method for evaluating reliance level of a virtual metrology system is disclosed. In this method, a reliance index (RI) and a RI threshold value are calculated by analyzing the process data of production equipment, thereby determining if the virtual metrology result is reliable. Besides, in this method, a global similarity index (GSI) and individual similarity indexes (ISI) are also provided for defining the degree of similarity between the current set of process data and all of the sets of historical process data used for establishing the conjecture model, thereby assisting the RI in gauging the degree of reliance and locating the key parameter(s) that cause major deviation.

摘要翻译： 公开了一种用于评估虚拟测量系统的可靠性水平的方法。 在该方法中，通过分析生产设备的过程数据来计算依赖指数（RI）和RI阈值，从而确定虚拟测量结果是否可靠。 此外，在该方法中，还提供了全局相似性指数（GSI）和个体相似性指数（ISI），用于定义当前流程数据集与用于建立猜想的所有历史过程数据集合之间的相似度 模型，从而帮助RI衡量依赖程度，定位导致重大偏差的关键参数。

公开(公告)号：US20070282767A1

公开(公告)日：2007-12-06

申请号：US11617957

申请日：2006-12-29

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Yeh-Tung Chen ,  Yu-Chuan Su

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Yeh-Tung Chen ,  Yu-Chuan Su

IPC分类号： G06N3/02

CPC分类号： G05B23/024

摘要： A method for evaluating reliance level of a virtual metrology system is disclosed. In this method, a reliance index (RI) and a RI threshold value are calculated by analyzing the process data of production equipment, thereby determining if the virtual metrology result is reliable. Besides, in this method, a global similarity index (GSI) and individual similarity indexes (ISI) are also provided for defining the degree of similarity between the current set of process data and all of the sets of historical process data used for establishing the conjecture model, thereby assisting the RI in gauging the degree of reliance and locating the key parameter(s) that cause major deviation.

摘要翻译： 公开了一种用于评估虚拟测量系统的可靠性水平的方法。 在该方法中，通过分析生产设备的过程数据来计算依赖指数（RI）和RI阈值，从而确定虚拟测量结果是否可靠。 此外，在该方法中，还提供了全局相似性指数（GSI）和个体相似性指数（ISI），用于定义当前流程数据集与用于建立猜想的所有历史过程数据集合之间的相似度 模型，从而帮助RI衡量依赖程度，定位导致重大偏差的关键参数。

公开(公告)号：US07493185B2

公开(公告)日：2009-02-17

申请号：US11142316

申请日：2005-06-02

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Yu-Chuan Su ,  Guo-Wei Huang ,  Min-Hsiung Hung

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Yu-Chuan Su ,  Guo-Wei Huang ,  Min-Hsiung Hung

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32194 ,  G05B2219/35346 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26 ,  Y02P90/86

摘要： A quality prognostics system and a quality prognostics method for predicting the product quality during manufacturing processes are disclosed, wherein the current production tool parameters sensed during the manufacturing process and several previous quality data collected from the measurement tool are utilized to predict the future product quality, and a conjecture modeling step and prediction modeling step are performed respectively. The conjecture modeling step itself also can be applied for the purpose of virtual metrology. Further, a self-searching step and a self-adjusting step are performed for searching the best combination of various parameters/functions used by the conjecture algorithm or prediction algorithm; and meeting the requirements of new equipment parameters and conjecture/prediction accuracy.

摘要翻译： 公开了一种用于在制造过程中预测产品质量的质量预测系统和质量预测方法，其中利用从制造过程中检测到的当前生产工具参数和从测量工具收集的若干以前的质量数据来预测未来的产品质量， 并分别进行推测建模步骤和预测建模步骤。 推测建模步骤本身也可以应用于虚拟计量学的目的。 此外，执行自搜索步骤和自调整步骤，用于搜索由推测算法或预测算法使用的各种参数/函数的最佳组合; 并满足新设备参数和推测/预测精度要求。

公开(公告)号：US20050288812A1

公开(公告)日：2005-12-29

申请号：US11142316

申请日：2005-06-02

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Yu-Chuan Su ,  Guo-Wei Huang ,  Min-Hsiung Hung

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Yu-Chuan Su ,  Guo-Wei Huang ,  Min-Hsiung Hung

IPC分类号： G05B19/418 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/32194 ,  G05B2219/35346 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/22 ,  Y02P90/26 ,  Y02P90/86

摘要： A quality prognostics system and a quality prognostics method for predicting the product quality during manufacturing processes are disclosed. The present invention utilizes the current production tool parameters sensed during the manufacturing process and several previous quality data collected from the measurement tool to predict the future product quality. The quality prognostics system is composed of conjecture modeling means and prediction modeling means. The conjecture modeling means itself also can be applied for the purpose of virtual metrology. Further, the quality prognostics method possesses a self-searching means and a self-adjusting means for searching the best combination of various parameters/functions used by the conjecture algorithm or prediction algorithm; and meeting the requirements of new equipment parameters and conjecture/prediction accuracy.

摘要翻译： 公开了一种在制造过程中预测产品质量的质量预测系统和质量预测方法。 本发明利用在制造过程中感测到的当前生产工具参数和从测量工具收集的几个以前的质量数据来预测未来的产品质量。 质量预测系统由猜想建模手段和预测建模手段组成。 猜想建模手段本身也可以应用于虚拟计量学的目的。 此外，质量预测方法具有搜索意图和自调整手段，用于搜索推测算法或预测算法使用的各种参数/函数的最佳组合; 并满足新设备参数和推测/预测精度要求。

公开(公告)号：US08515793B2

公开(公告)日：2013-08-20

申请号：US12724553

申请日：2010-03-16

申请人： Ying-Liang Chen ,  Haw-Ching Yang ,  Fan-Tien Cheng

发明人： Ying-Liang Chen ,  Haw-Ching Yang ,  Fan-Tien Cheng

IPC分类号： G06Q10/00

CPC分类号： G06Q10/087 ,  G06Q10/04 ,  G06Q50/04 ,  Y02P90/30

摘要： A virtual production control system (VPCS), and a virtual production control method and a computer program product thereof are provided. At first, the VPCS processes historical work-in-process (WIP) information and a current shipping plan sent from a supplier side, thereby obtaining a plurality of sets of WIP input/output historical data and a goods output schedule. Then, the VPCS performs an integer programming (IP) method to find the latest output schedule in accordance to the current shipping plan; uses a genetic algorithm (GA) to fit the historical distributed-parameters; adopts a neural network (NN) method to predict the future distributed-parameters of production; and finally utilizes a Petri Nets to simulate and obtain a latest feasible input schedule and a latest feasible output schedule.

摘要翻译： 提供虚拟生产控制系统（VPCS）以及虚拟生产控制方法及其计算机程序产品。 首先，VPCS处理从供应商侧发送的历史工作在线（WIP）信息和当前运送计划，从而获得多组WIP输入/输出历史数据和货物输出计划。 然后，VPCS执行整数规划（IP）方法，以根据当前运输计划查找最新的输出计划; 使用遗传算法（GA）来适应历史分布参数; 采用神经网络（NN）方法预测未来生产分布参数; 最后利用Petri网来模拟并获得最新的可行输入计划和最新可行的输出计划。

公开(公告)号：US07386751B2

公开(公告)日：2008-06-10

申请号：US10272057

申请日：2002-10-16

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Haw-Ching Yang ,  Chia-Ying Tsai

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Haw-Ching Yang ,  Chia-Ying Tsai

IPC分类号： G06F11/00

CPC分类号： G06Q10/10 ,  G06Q10/0631 ,  G06Q10/101

摘要： A generic service management system is disclosed. The generic service management system comprises a registration scheme; a search-and-execution scheme; and a detection-and-replacement scheme, used for detecting and replacing the invalid service provider, such as a semiconductor equipment manager. The present invention provides a GEV (Generic Evaluator) having the capabilities of error-detecting and data backup, and further combines Jini infrastructure and the programming technology of design by contract. The GEV archives the credit values of all the service providers for letting a client (such as a factory manager) to select a service provider having a higher credit value. The GEV periodically backups the execution status and parameters of service providers, so that, in case a service provider has errors, its backup information of execution status and parameters can be assigned to another service provider for continuously executing the unfinished job, thereby enhancing the reliability of distributed object-oriented systems. The present invention can detect abnormal behaviors, such as system crash, errors in transmitting information and degradation of performance, etc., and is suitable for use in production systems that are connected by networks, such as semiconductor manufacturing systems, optical telecommunication production systems, etc.

摘要翻译： 公开了通用业务管理系统。 通用业务管理系统包括注册方案; 搜索和执行计划; 以及用于检测和替换诸如半导体设备管理器的无效服务提供商的检测和替换方案。 本发明提供具有错误检测和数据备份功能的GEV（通用评估器），并且通过合同进一步结合了Jini基础设施和设计编程技术。 GEV归档所有服务提供商的信用值，让客户（如工厂经理）选择具有较高信用额度的服务提供商。 GEV定期备份服务提供商的执行状态和参数，以便在服务提供商出现错误的情况下，其执行状态和参数的备份信息可以分配给另一个服务提供商，以连续执行未完成的作业，从而提高可靠性 的分布式面向对象系统。 本发明可以检测系统崩溃，传输信息错误和性能劣化等异常行为，适用于通过网络连接的生产系统，如半导体制造系统，光通信生产系统， 等等

公开(公告)号：US07003367B2

公开(公告)日：2006-02-21

申请号：US10254139

申请日：2002-09-24

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Chun-Yen Teng

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Chun-Yen Teng

IPC分类号： G06F19/00 ,  G06F3/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31426 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20

摘要： An equipment management method for managing semiconductor equipment via an equipment manager. In the equipment management method, production scenario rules and equipment behavior rules are first defined respectively in a production scenario database of a configuration controller and an equipment behavior database of an equipment driver. Them, a command is received from a manufacturing execution system (MES), and is converted into a production process scenario by looking up the corresponding production scenario rule in the production scenario database. Thereafter, the production process scenario is converted into a GEI (generic equipment interface) message with a GEI message specification, and the GEI message is transmitted to the equipment driver. Then, the GEI message is converted into equipment communication messages regulated by an equipment communication protocol by looking up the corresponding equipment behavior rule in the equipment behavior database. Then, the equipment communication messages are transmitted to equipment.

摘要翻译： 一种用于通过设备管理器管理半导体设备的设备管理方法。 在设备管理方法中，首先在配置控制器的生产场景数据库和设备驱动程序的设备行为数据库中分别定义生产场景规则和设备行为规则。 他们从制造执行系统（MES）接收到一条命令，并通过在生产场景数据库中查找相应的生产场景规则将其转换为生产过程场景。 此后，将生产流程场景转换为具有GEI消息规范的GEI（通用设备接口）消息，并将GEI消息传送给设备驱动程序。 然后，通过查找设备行为数据库中的相应设备行为规则，将GEI消息转换为由设备通信协议规定的设备通信消息。 然后，设备通信消息被传送到设备。

公开(公告)号：US08983644B2

公开(公告)日：2015-03-17

申请号：US12784428

申请日：2010-05-20

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Chi-An Kao ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yung-Cheng Chang

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Chi-An Kao ,  Hsien-Cheng Huang ,  Yung-Cheng Chang

IPC分类号： G06F19/00 ,  G06E1/00 ,  G06F3/00 ,  G06F15/18 ,  G05B19/418

CPC分类号： G05B19/41875 ,  G05B2219/31459 ,  G05B2219/32191 ,  G05B2219/35346 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/12 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： A manufacturing execution system (MES) with virtual-metrology capabilities and a manufacturing system including the MES are provided. The MES is built on a middleware architecture (such as an object request broker architecture), and includes an equipment manager, a virtual metrology system (VMS), a statistical process control (SPC) system, an alarm manager and a scheduler. The manufacturing system includes a first process tool, a second process tool, a metrology tool, the aforementioned MES, a first R2R (Run-to-Run) controller and a second R2R controller.

摘要翻译： 提供了具有虚拟计量能力的制造执行系统（MES）和包括MES的制造系统。 MES建立在中间件架构（例如对象请求代理体系结构）上，并且包括设备管理器，虚拟测量系统（VMS），统计过程控制（SPC）系统，报警管理器和调度器。 制造系统包括第一处理工具，第二处理工具，计量工具，上述MES，第一R2R（运行到运行）控制器和第二R2R控制器。

公开(公告)号：US07457236B2

公开(公告)日：2008-11-25

申请号：US11106892

申请日：2005-04-15

申请人： Fan-Tien Cheng ,  Shung-Lun Wu ,  Ping-Yen Tsai

发明人： Fan-Tien Cheng ,  Shung-Lun Wu ,  Ping-Yen Tsai

IPC分类号： G01R31/08

CPC分类号： H04L43/0817 ,  H04L43/10 ,  H04L69/40

摘要： A method for providing an application cluster service (APCS) with fault-detection and failure-recovery capabilities. This method is composed of the steps of nodes clustering, invoking and detecting applications, fault-recovery of applications, detection of nodes, and node replacement. This method is applicable in a clustered environment to detect if a slave node is failed by sending a heartbeat periodically from a master node; and to detect if the master node still exists by checking if the master node stops sending the heartbeat (i.e. the master node may be failed).

摘要翻译： 一种提供具有故障检测和故障恢复功能的应用程序集群服务（APCS）的方法。 该方法由节点聚类，应用调用和检测，应用故障恢复，节点检测和节点替换等步骤组成。 该方法适用于群集环境，通过从主节点定期发送心跳来检测从节点是否发生故障; 并且通过检查主节点是否停止发送心跳（即，主节点可能失败）来检测主节点是否仍然存在。

公开(公告)号：US07034713B2

公开(公告)日：2006-04-25

申请号：US10190688

申请日：2002-07-08

申请人： Yu-Chung Yang ,  Fan-Tien Cheng

发明人： Yu-Chung Yang ,  Fan-Tien Cheng

IPC分类号： H04Q1/00

CPC分类号： G08C19/28 ,  G08C2201/92

摘要： An autonomous and universal remote control system and scheme is disclosed. The autonomous and universal remote control system comprises at least one generic embedded controller (GEC) respectively installed on at least one controlled target, such as appliances, robots and equipment, etc.; and a generic remote controller (GRC), wherein the at least one GEC matches with the GRC. The autonomous and universal remote control scheme utilizes the GRC to sense the type of the at least one controlled target automatically, and then to download the context of controlled target dynamically, thereby autonomously controlling the controlled targets of various types with one single GRC.

摘要翻译： 公开了一种自主和通用的遥控系统和方案。 自主通用遥控系统包括分别安装在至少一个受控对象上的至少一个通用嵌入式控制器（GEC），例如电器，机器人和设备等; 和通用遥控器（GRC），其中至少一个GEC与GRC匹配。 自主和通用的遥控方案利用GRC自动检测至少一个受控对象的类型，然后动态下载受控对象的上下文，从而通过一个单独的GRC自动控制各种类型的受控对象。