公开(公告)号：US5517823A

公开(公告)日：1996-05-21

申请号：US374140

申请日：1995-01-18

申请人： Bruce R. Andeen ,  Gerald J. Fortier ,  Allen J. Bartlett ,  Michael J. Eacobacci ,  Philip C. Lessard

发明人： Bruce R. Andeen ,  Gerald J. Fortier ,  Allen J. Bartlett ,  Michael J. Eacobacci ,  Philip C. Lessard

IPC分类号： F04B37/08 ,  F04B37/16 ,  B01D8/00

CPC分类号： F04B37/085 ,  Y10S417/901

摘要： In a subatmospheric regeneration process, a relief valve and a roughing valve are coupled in parallel to a common roughing pump. During regeneration, the cryopump is warmed to release gases from cryopump stages. The relief valve opens at a first cryopump pressure level less than a predetermined maximum pressure. The maximum pressure is subatmospheric. The relief valve closes when the cryopump pressure drops below a second cryopump pressure level. Pressure in a line between the relief valve and the roughing pump is monitored to control the opening of the roughing valve to the roughing pump.

摘要翻译： 在低于大气压的再生过程中，安全阀和粗加工阀与共同的粗加工泵并联。 在再生期间，将低温泵加热以从低温泵阶段释放气体。 安全阀在低于预定最大压力的第一低温泵压力水平下打开。 最大压力低于大气压。 当低温泵压力低于第二低温泵压力水平时，安全阀关闭。 监控安全阀和粗加油泵之间管路中的压力，以控制粗加油阀对粗加油泵的打开。