Method for fabricating ZnO thin films
    1.
    发明授权
    Method for fabricating ZnO thin films 失效
    制造ZnO薄膜的方法

    公开(公告)号:US08173205B2

    公开(公告)日:2012-05-08

    申请号:US12126380

    申请日:2008-05-23

    IPC分类号: B05D5/12

    CPC分类号: C23C18/1216 C23C18/1254

    摘要: Disclosed is a method for fabricating ZnO thin films using a ZnO precursor solution containing zinc hydroxide nitrate (Zn5(OH)8(NO3)2.2H2O) as a zinc supplier. The ZnO thin film is fabricated by using a simple and economical coating method at a low process temperature.

    摘要翻译: 公开了使用含有硝酸锌(Zn5(OH)8(NO3)2.2H2O)作为锌供应商的ZnO前体溶液制造ZnO薄膜的方法。 ZnO薄膜是通过在较低的工艺温度下使用简单经济的涂层方法制造的。