公开(公告)号：US20140218076A1

公开(公告)日：2014-08-07

申请号：US13761955

申请日：2013-02-07

Applicant: MKS INSTRUMENTS, INC.

Inventor： David J. COUMOU ,  Larry J. FISK, II ,  Aaron T. RADOMSKI ,  Jaehyun KIM ,  Sang-Won LEE ,  Jonathan SMYKA

IPC: H01J37/32 ,  H03L7/00

CPC classification number: H01J37/32174 ,  H01J37/3299

Abstract: A radio frequency (RF) system is disclosed. The RF system includes an RF sensor, an analog to digital converter (ADC) module, a processing module, and a synchronization module. The RF sensor measures a parameter of an RF output and generates an RF signal based on the parameter. The ADC module converts samples of the RF signal into digital values. The processing module generates processed values based on the digital values. The synchronization module outputs one of the processed values in response to a transition in the RF output.

Abstract translation: 公开了射频（RF）系统。 RF系统包括RF传感器，模数转换器（ADC）模块，处理模块和同步模块。 RF传感器测量RF输出的参数，并根据参数产生RF信号。 ADC模块将RF信号的采样转换为数字值。 处理模块基于数字值产生处理的值。 响应于RF输出中的转换，同步模块输出其中一个处理值。