公开(公告)号：US07677956B2

公开(公告)日：2010-03-16

申请号：US10142681

申请日：2002-05-10

申请人： Phillip Carter ,  Gregory H Bogush ,  Farhana Khan ,  Timothy P Johns ,  Robert Vacassy

发明人： Phillip Carter ,  Gregory H Bogush ,  Farhana Khan ,  Timothy P Johns ,  Robert Vacassy

IPC分类号： B24B1/00 ,  B24B7/19 ,  B24B7/30 ,  B24B7/22

CPC分类号： B24B37/0056 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/31053

摘要： The invention is directed to a chemical-mechanical polishing composition comprising (a) an abrasive consisting essentially of aggregated silica, (b) an acid, and (c) a liquid carrier, wherein the polishing composition has a pH of about 5 or less. The invention is also directed to a method of polishing a substrate comprising a dielectric layer using the polishing composition.

摘要翻译： 本发明涉及一种化学机械抛光组合物，其包含（a）主要由聚集的二氧化硅组成的磨料，（b）酸和（c）液体载体，其中所述抛光组合物具有约5或更低的pH。 本发明还涉及使用抛光组合物抛光包括电介质层的基底的方法。

公开(公告)号：US20090300061A1

公开(公告)日：2009-12-03

申请号：US12315499

申请日：2008-12-03

申请人： Bhanu Prashanthi Murthy ,  Farhana Khan

发明人： Bhanu Prashanthi Murthy ,  Farhana Khan

IPC分类号： G06F17/30

CPC分类号： G06F17/246

摘要： A system and method for automatically generating the universe from the documented MS-Excel file is disclosed. The methods for the Generate Universe, Migrate Universe, Update Universe and Document Universe are disclosed. The method helps in reduction of build effort of the project and removes the problem of corruption of the universe file of link being lost. The method provides easy maintenance of the universe versions and multi-user development environments and updating of universe files.

摘要翻译： 公开了从记录的MS-Excel文件自动生成宇宙的系统和方法。 公开了生成宇宙，迁移宇宙，更新宇宙和文献宇宙的方法。 该方法有助于减少项目的构建工作，并消除丢失链接的Universe文件的损坏问题。 该方法提供了对Universe版本和多用户开发环境的轻松维护以及Universe文件的更新。