公开(公告)号：US20160107882A1

公开(公告)日：2016-04-21

申请号：US14890852

申请日：2014-06-05

Applicant: TRONICS MICROSYSTEMS S.A.

Inventor： Julien CUZZOCREA ,  Joël COLLET

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/0038 ,  B81C1/00285

Abstract: A MEMS device comprises a first layer (1), a second layer (2) and a third layer (3) sealed together. A mobile structure (7.1, 7.2) in the second layer (2) is defined by openings (8.1, 8.2) in the second layer (2). In the first layer (1), there is at least one first-layer cavity (6.1, 6.2) with an opening towards the mobile structure (7.1, 7.2) of the second layer (2). In the third layer (3), there is at least one third-layer cavity (9) with an opening towards the mobile structure (7.1, 7.2) of the second layer (2). Therefore, the third-layer cavity (9) and the second layer (2) define a space within the MEMS device, A getter layer (10.1, 10.2) arranged on a surface of said space. The getter layer (10.1, 10.2) is preferably arranged on a surface of the second layer (2) and in particular, the getter layer (10.1, 10.2) is arranged on a static part of the second layer (2). Alternatively, the MEMS device has a third-layer cavity (24) with at least two recesses (25.1, 25.2, 25.3) and the getter layer (26.1, 26.2, 26.3) is arranged on a surface of the recesses (25.1, 25.2, 25.3).

Abstract translation: MEMS器件包括密封在一起的第一层（1），第二层（2）和第三层（3）。 第二层（2）中的移动结构（7.1,7.2）由第二层（2）中的开口（8.1,8.2）限定。 在第一层（1）中，存在至少一个具有朝向第二层（2）的移动结构（7.1,7.2）的开口的第一层空腔（6.1,6.2）。 在第三层（3）中，存在至少一个具有朝向第二层（2）的移动结构（7.1,7.2）的开口的第三层空腔（9）。 因此，第三层空腔（9）和第二层（2）在MEMS装置内限定了布置在所述空间表面上的吸气剂层（10.1,10.2）。 吸气剂层（10.1,10.2）优选地布置在第二层（2）的表面上，特别地，吸气剂层（10.1,10.2）布置在第二层（2）的静态部分上。 或者，MEMS器件具有具有至少两个凹部（25.1,25.2,25.3）的第三层腔（24），并且吸气剂层（26.1,26.2,26.3）布置在凹部（25.1,25.2,25.3）的表面上， 25.3）。