公开(公告)号：US20110085177A1

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：US12900788

申请日：2010-10-08

申请人： Yasushi FUKUMOTO ,  Koichi KOMATSU ,  Fumihiro TAKEMURA ,  Sadaharu ARITA ,  Kotaro HIRANO

发明人： Yasushi FUKUMOTO ,  Koichi KOMATSU ,  Fumihiro TAKEMURA ,  Sadaharu ARITA ,  Kotaro HIRANO

IPC分类号： G01B11/24

CPC分类号： G01B5/008 ,  G01B11/005 ,  G01B21/042

摘要： An offset amount calibrating method that obtains the offset amount between a contact-type detector and an image probe for a surface profile measuring machine is provided. The method includes: setting on a stage a calibration jig that has a surface being provided with a lattice pattern with a level difference; measuring the lattice pattern of the calibration jig by the contact-type detector to obtain a first reference position of the lattice pattern; capturing the image of the lattice pattern of the calibration jig by the image probe to obtain a second reference position of the lattice pattern; and obtaining the offset amount from a difference between the first and second reference positions.

摘要翻译： 提供了一种获得用于表面轮廓测量机的接触型检测器和图像探针之间的偏移量的偏移量校准方法。 该方法包括：在舞台上设置具有具有水平差的格子图案的表面的校准夹具; 通过接触型检测器测量校准夹具的格子图案，以获得格子图案的第一参考位置; 通过图像探测器捕获校准夹具的格子图案的图像，以获得格子图案的第二参考位置; 以及从所述第一和第二参考位置之间的差获得所述偏移量。

公开(公告)号：US20110083497A1

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：US12900867

申请日：2010-10-08

申请人： Sadayuki MATSUMIYA ,  Yoshiyuki OMORI ,  Sadaharu ARITA ,  Kotaro HIRANO ,  Yasushi FUKUMOTO ,  Koichi KOMATSU ,  Fumihiro TAKEMURA

发明人： Sadayuki MATSUMIYA ,  Yoshiyuki OMORI ,  Sadaharu ARITA ,  Kotaro HIRANO ,  Yasushi FUKUMOTO ,  Koichi KOMATSU ,  Fumihiro TAKEMURA

IPC分类号： G01B5/28

CPC分类号： G01B11/005 ,  G01B5/008 ,  G01B11/245 ,  G01B21/047

摘要： A surface texture measuring machine includes: a stage, a contact-type detector having a stylus, an image probe, a relative movement mechanism and a controller. The controller includes: a center position calculating unit that, when the image probe enters position data of at least three points on a circular contour of a circular concave portion or a circular convex portion of an object, approximates the entered position data to a circle to obtain a center position of the circle; and a stylus setting unit that, after calculating the center position, operates the relative movement mechanism to position the stylus of the contact-type detector at the center position.

摘要翻译： 表面纹理测量机包括：台，具有触针的触点型检测器，图像探针，相对移动机构和控制器。 控制器包括：中心位置计算单元，当图像探测器进入圆形凹部或物体的圆形凸部的圆形轮廓上的至少三个点的位置数据时，将输入的位置数据近似为圆形 获得圆的中心位置; 以及触笔设置单元，其在计算中心位置之后，操作相对移动机构以将接触型检测器的触针定位在中心位置。