公开(公告)号：US5247342A

公开(公告)日：1993-09-21

申请号：US777371

申请日：1991-11-29

申请人： Youichi Tamura ,  Hiroshi Goto ,  Takeshi Tsukamoto ,  Yasutaka Ichihashi ,  Takamasa Imai

发明人： Youichi Tamura ,  Hiroshi Goto ,  Takeshi Tsukamoto ,  Yasutaka Ichihashi ,  Takamasa Imai

IPC分类号： G01J3/453 ,  G01J9/02

CPC分类号： G01J3/453 ,  G01J9/0246

摘要： A light wavelength measuring apparatus is designed to obtain a wavelength (.lambda.) of target light, by using the number (N) of interference fringes having predetermined repetitive waveforms generated when an optical path length is changed by a change amount (D.sub.S) by continuously moving a movable portion (7) of an interference spectroscopic unit (1) at a constant speed throughout a predetermined distance (D.sub.S), according to .lambda.=D.sub.S /N. A wave counter (13) forms waveform count information (Na) by counting the number of specific points, corresponding to each other in respective periods of the interference fringes, throughout an interval between predetermined measurement start and end points. A reference pulse generator (21) generates a reference pulse having a frequency higher than that of the repetitive waveforms of the interference fringes. A detector (22a, 23a) detects a first number of reference pulses present in one period of the interference fringes together with a second number of reference pulses present in an interval between the measurement start point and the first specific point, of the interference fringes, following the measurement start point, and a third number of reference pulses present in an interval between the last specific point of the interference fringes and the measurement end point. A CPU (26) corrects the waveform count information (Na) obtained by the wave counter using the first, second, and third numbers of reference pulses detected by the detector to obtain waveform count information (N.sub.A) including a fractional value, thereby calculating the wavelength of the target light according to .lambda.=D.sub.S /N.sub.A.

摘要翻译： PCT No.PCT / JP91 / 00385 Sec。 371日期：1991年11月29日 102（e）1991年11月29日PCT PCT 1991年3月26日PCT。 出版物WO91 / 14928 PCT 日期：1991年10月3日。光波长测量装置被设计成通过使用当光路长度改变了变化时产生的具有预定重复波形的干涉条纹数目（N）来获得目标光的波长（λ） 根据λ= DS / N，以恒定速度连续移动干涉光谱单元（1）的可移动部分（7），在整个预定距离（DS）内连续移动量（DS）。 波计数器（13）通过在预定的测量开始和结束点之间的整个间隔内对在干涉条纹的各个周期中彼此​​对应的特定点的数量进行计数来形成波形计数信息（Na）。 参考脉冲发生器（21）产生具有高于干涉条纹的重复波形的频率的参考脉冲。 检测器（22a，23a）检测干涉条纹的一个周期中存在的第一数量的参考脉冲以及存在于干涉条纹的测量开始点和第一特定点之间的间隔中的第二数量的参考脉冲， 跟随测量开始点，以及存在于干涉条纹的最后一个特定点和测量终点之间的间隔中的第三数量的参考脉冲。 CPU（26）使用由检测器检测的第一，第二和第三参考脉冲数来校正由波形计数器获得的波形计数信息（Na），以获得包括分数值的波形计数信息（NA），由此计算 目标光的波长根据λ= DS / NA。