公开(公告)号：US20090280247A1

公开(公告)日：2009-11-12

申请号：US12467468

申请日：2009-05-18

Applicant: Stephen R. FORREST ,  Fan Yang ,  Richard Lunt

Inventor： Stephen R. FORREST ,  Fan Yang ,  Richard Lunt

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/54

CPC classification number: B05D1/60 ,  B05D3/002 ,  B05D7/52 ,  B05D7/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

Abstract: The invention provides apparatus and methods for organic continuum vapor deposition of organic materials on large area substrates.

Abstract translation: 本发明提供了有机材料在大面积基板上的有机连续蒸气沉积的装置和方法。