公开(公告)号：US09085140B2

公开(公告)日：2015-07-21

申请号：US13966336

申请日：2013-08-14

申请人： Electronics and Telecommunications Research Institute

发明人： Yong Suk Yang ,  In-Kyu You ,  Soon-Won Jung ,  Bock Soon Na ,  Seok-Hwan Moon

IPC分类号： B41J2/15 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  B41J2/06

CPC分类号： B41J2/1626 ,  B41J2/06 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1621 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2202/04

摘要： Provided are a large-area nano-scale active printing device, a fabricating method of the same, and a printing method using the same. The printing device may include a substrate, first interconnection lines extending along a first direction, on the substrate, an interlayered dielectric layer provided on the first interconnection lines to have holes partially exposing the first interconnection lines, second interconnection lines provided adjacent to the holes in the interlayered dielectric layer to cross the first interconnection lines, and wedge-shaped electrodes provided at intersections with the first and second interconnection lines and connected to the first interconnection lines. The wedge-shaped electrodes protrude upward at centers of the holes.

摘要翻译： 提供了一种大面积纳米级活性印刷装置及其制造方法，以及使用其的印刷方法。 打印装置可以包括基板，沿着第一方向延伸的第一互连线，在基板上，设置在第一互连线上的具有部分地暴露第一互连线的孔的层间电介质层，邻近孔的第二互连线 所述层间电介质层与所述第一互连线交叉，以及设置在与所述第一和第二互连线交叉并与所述第一互连线连接的楔形电极。 楔形电极在孔的中心向上突出。