公开(公告)号：US20150349264A1

公开(公告)日：2015-12-03

申请号：US14820028

申请日：2015-08-06

申请人： International Business Machines Corporation ,  Egypt Nanotechnology Center

发明人： Ageeth A. Bol ,  Bhupesh Chandra ,  Amal Kasry ,  Ahmed Maarouf ,  Glenn J. Martyna ,  George S. Tulevski

IPC分类号： H01L51/00 ,  H01L51/05 ,  C23C16/26

CPC分类号： H01L51/0048 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/158 ,  C01B32/182 ,  C01B32/186 ,  C01B32/192 ,  C01B2202/00 ,  C01B2204/00 ,  C23C16/26 ,  H01B1/04 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/1606 ,  H01L29/66742 ,  H01L29/778 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/78684 ,  H01L29/78696 ,  H01L51/0025 ,  H01L51/0545 ,  H01L51/0562 ,  H01L51/0566 ,  H01L51/102 ,  H01L51/105 ,  Y10S977/742 ,  Y10S977/75 ,  Y10S977/938 ,  Y10T428/30

摘要： A nanotube-graphene hybrid film and method for forming a cleaned nanotube-graphene hybrid film. A method includes depositing nanotube film over a metal foil to produce a layer of nanotube film, placing the metal foil with as-deposited nanotube film in a chemical vapor deposition furnace to grow graphene on the nanotube film to form a nanotube-graphene hybrid film, and transferring the nanotube-graphene hybrid film over a substrate.

摘要翻译： 一种纳米管 - 石墨烯复合膜及其形成清洁的纳米管 - 石墨烯混合膜的方法。 一种方法包括在金属箔上沉积纳米管膜以产生纳米管膜层，将具有沉积纳米管膜的金属箔放置在化学气相沉积炉中以在纳米管膜上生长石墨烯以形成纳米管 - 石墨烯混合膜， 并将纳米管 - 石墨烯混合膜转移到衬底上。