公开(公告)号：US07755748B2

公开(公告)日：2010-07-13

申请号：US12181774

申请日：2008-07-29

申请人： Michael Arnz ,  Oswald Gromer ,  Gerd Klose ,  Joachim Stuehler ,  Matthias Manger

发明人： Michael Arnz ,  Oswald Gromer ,  Gerd Klose ,  Joachim Stuehler ,  Matthias Manger

IPC分类号： G01B9/00

CPC分类号： G03F7/70591 ,  G03F7/70941

摘要： A scattered light measurement device includes an illumination mask providing measuring radiation on an entrance side (1a) of a test component (1) and a detection part (3-6) for detection of light scattered by the test component and disposed on an exit side (1b) of the test component. The illumination mask includes at least one scattered light measurement structure, wherein the scattered light measurement structure has a scattered light marker zone and wherein the scattered light marker zone has a rotationally non-symmetric shape.

摘要翻译： 散射光测量装置包括照射掩模，其在测试部件（1）的入口侧（1a）和检测部（3-6）上提供测量辐射，用于检测由测试部件散射的光并且设置在出射侧 （1b）。 照明掩模包括至少一个散射光测量结构，其中散射光测量结构具有散射光标记区，并且其中散射光标记区具有旋转非对称形状。