公开(公告)号：US20090021119A1

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：US10586712

申请日：2005-02-23

申请人： Masahiro Yasumi ,  Kazuki Komaki ,  Yuji Murashima ,  Yuki Nakamura ,  Tetsuo Kawasaki

发明人： Masahiro Yasumi ,  Kazuki Komaki ,  Yuji Murashima ,  Yuki Nakamura ,  Tetsuo Kawasaki

IPC分类号： G01C19/56 ,  H01L41/22

CPC分类号： G01C19/5628 ,  G01C19/5621 ,  Y10T29/42

摘要： A substrate is made of single crystal silicon and having a tuning folk shape. The substrate includes plural arms extending in parallel with each other and a joint section for connecting respecting ends of the arms with each other. An angular velocity sensor includes a barrier layer containing silicon oxide provided on each of the arms of the substrate, a first adhesion layer containing titanium provided on the barrier layer a first electrode layer containing at least one of titanium and titanium oxide provided on the first adhesion layer, an orientation control layer provided on the first electrode layer, a piezoelectric layer provided on the orientation control layer, a second adhesion layer provided on the piezoelectric layer, and a second electrode layer provided on the second adhesion layer. This angular velocity sensor has a small size and stable characteristics.

摘要翻译： 衬底由单晶硅制成并具有调谐民间形状。 基板包括彼此平行延伸的多个臂和用于将臂的相对端彼此连接的接合部。 角速度传感器包括设置在基板的每个臂上的含有氧化硅的阻挡层，在该阻挡层上含有钛的第一粘合层，该第一粘合层含有设置在第一粘合层上的钛和氧化钛中的至少一种 设置在所述第一电极层上的取向控制层，设置在所述取向控制层上的压电层，设置在所述压电层上的第二粘合层，以及设置在所述第二粘合层上的第二电极层。 该角速度传感器具有体积小，性能稳定的特点。