公开(公告)号：US20090151433A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：US12334130

申请日：2008-12-12

申请人： Wei Gao ,  Young Jin Noh ,  Yoshikazu Arai ,  Hirokazu Odagiri

发明人： Wei Gao ,  Young Jin Noh ,  Yoshikazu Arai ,  Hirokazu Odagiri

IPC分类号： B23Q17/09

CPC分类号： B24B1/04 ,  B23B29/125 ,  B23B2226/31 ,  B23B2260/108 ,  B23B2260/128 ,  B24B49/16

摘要： A processing apparatus is provided. The processing apparatus includes a processing portion, an actuator, a casing, a preload mechanism, a force sensor, and a detection unit. The processing portion includes a cutting edge. The actuator is configured to cause the processing portion to vibrate microscopically. The casing is configured to accommodate the actuator. The preload mechanism is disposed inside the casing and configured to impart a preload to the actuator. The force sensor is disposed between the cutting edge and the preload mechanism. The detection unit detects a cutting force of the processing portion based on an output of the force sensor.

摘要翻译： 提供了一种处理装置。 处理装置包括处理部分，致动器，壳体，预加载机构，力传感器和检测单元。 处理部分包括切削刃。 致动器构造成使得处理部分在显微镜下振动。 壳体构造成容纳致动器。 预紧机构设置在壳体内部并且被配置为向致动器施加预载荷。 力传感器设置在切削刃和预紧机构之间。 检测单元基于力传感器的输出来检测处理部的切割力。