公开(公告)号：US08079135B1

公开(公告)日：2011-12-20

申请号：US11955667

申请日：2007-12-13

申请人： Yong Shen ,  Liubo Hong ,  Guanghong Luo ,  Honglin Zhu ,  Lei Wang ,  Yingjian Chen

发明人： Yong Shen ,  Liubo Hong ,  Guanghong Luo ,  Honglin Zhu ,  Lei Wang ,  Yingjian Chen

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method for providing a perpendicular magnetic recording (PMR) transducer is described. The PMR transducer provided includes a PMR pole and yoke structure coupled with the PMR pole. The method includes providing a hard mask and an intermediate layer. A first portion of the hard mask resides on the PMR pole. A second portion of the hard mask resides on another structure. The intermediate layer surrounds at least the PMR pole. The method also includes performing a planarization on at least the intermediate layer, removing the first portion of the hard mask on the PMR pole without completely removing the second portion of the hard mask on the other structure. The method further includes removing a remaining portion of the hard mask on the other structure, providing a write gap on the PMR pole, and providing a shield on the write gap.

摘要翻译： 描述了一种用于提供垂直磁记录（PMR）换能器的方法。 提供的PMR传感器包括与PMR极耦合的PMR极和轭结构。 该方法包括提供硬掩模和中间层。 硬掩模的第一部分位于PMR杆上。 硬掩模的第二部分位于另一结构上。 中间层至少包围PMR极。 该方法还包括在至少中间层上执行平面化，在PMR极上去除硬掩模的第一部分，而不必在另一个结构上完全去除硬掩模的第二部分。 该方法还包括移除另一结构上的硬掩模的剩余部分，在PMR极上提供写入间隙，并在写入间隙上提供屏蔽。