公开(公告)号：US09349397B2

公开(公告)日：2016-05-24

申请号：US14226673

申请日：2014-03-26

申请人： HGST Netherlands B.V.

发明人： Masashi Hattori ,  Norihiro Okawa ,  Kouichi Nishioka ,  Kouji Okazaki

IPC分类号： G11B5/39 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3906 ,  G01R33/098 ,  G11B5/1272 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3967 ,  G11B5/398 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  Y10T29/49052 ,  Y10T428/1121

摘要： In one embodiment, a method for forming a magnetoresistive read head includes forming a fixed layer having a first ferromagnetic material that has a fixed direction of magnetization above a lower shield layer, forming a free layer having a second ferromagnetic material positioned above the fixed layer, the free layer having a non-fixed direction of magnetization, forming a first mask above the free layer, the first mask having a predetermined width based on a track width of a magnetic medium, etching the free layer down to the fixed layer using the first mask as a guide, wherein substantially none of the fixed layer is etched, and wherein the fixed layer extends beyond both sides of the free layer in a cross-track direction, and forming magnetic domain control films on both sides of the free layer in the cross-track direction, the magnetic domain control films including a soft magnetic material.

摘要翻译： 在一个实施例中，形成磁阻读头的方法包括形成具有第一铁磁材料的固定层，该第一铁磁材料在下屏蔽层上方具有固定的磁化方向，形成位于固定层上方的具有第二铁磁材料的自由层， 所述自由层具有非固定的磁化方向，在所述自由层上方形成第一掩模，所述第一掩模基于磁介质的轨道宽度具有预定的宽度，使用所述第一掩模将所述自由层向下蚀刻到所述固定层 掩模作为引导件，其中基本上没有蚀刻固定层，并且其中固定层在交叉轨道方向上延伸超过自由层的两侧，并且在自由层的两侧上形成磁畴控制膜 跨轨道方向，磁畴控制膜包括软磁材料。

公开(公告)号：US20150371669A1

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：US14840600

申请日：2015-08-31

申请人： Seagate Technology LLC

发明人： Lien Lee ,  Yongjun Zhao ,  Lijuan Zou ,  Mark Henry Ostrowski

IPC分类号： G11B5/31

CPC分类号： G11B5/314 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/6088 ,  G11B2005/0021 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method of making a transducer head disclosed herein includes depositing a spacer layer on an NFT layer of the transducer head, forming an etch stop layer on a spacer layer of a transducer, depositing a cladding layer on the etch stop layer, and milling the cladding layer at a sloped angle such that the milling stops at the etch stop layer.

摘要翻译： 制造本文公开的换能器头的方法包括在换能器头的NFT层上沉积间隔层，在换能器的间隔层上形成蚀刻停止层，在蚀刻停止层上沉积包覆层，以及研磨包层 层，其倾斜角度使得铣削在蚀刻停止层处停止。

公开(公告)号：US20150279392A1

公开(公告)日：2015-10-01

申请号：US14226673

申请日：2014-03-26

申请人： HGST Netherlands B.V.

发明人： Masashi Hattori ,  Norihiro Okawa ,  Kouichi Nishioka ,  Kouji Okazaki

IPC分类号： G11B5/39 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3906 ,  G01R33/098 ,  G11B5/1272 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3967 ,  G11B5/398 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  Y10T29/49052 ,  Y10T428/1121

摘要： In one embodiment, a method for forming a magnetoresistive read head includes forming a fixed layer having a first ferromagnetic material that has a fixed direction of magnetization above a lower shield layer, forming a free layer having a second ferromagnetic material positioned above the fixed layer, the free layer having a non-fixed direction of magnetization, forming a first mask above the free layer, the first mask having a predetermined width based on a track width of a magnetic medium, etching the free layer down to the fixed layer using the first mask as a guide, wherein substantially none of the fixed layer is etched, and wherein the fixed layer extends beyond both sides of the free layer in a cross-track direction, and forming magnetic domain control films on both sides of the free layer in the cross-track direction, the magnetic domain control films including a soft magnetic material.

摘要翻译： 在一个实施例中，形成磁阻读头的方法包括形成具有第一铁磁材料的固定层，该第一铁磁材料在下屏蔽层上方具有固定的磁化方向，形成位于固定层上方的具有第二铁磁材料的自由层， 所述自由层具有非固定的磁化方向，在所述自由层上方形成第一掩模，所述第一掩模基于磁介质的轨道宽度具有预定的宽度，使用所述第一掩模将所述自由层向下蚀刻到所述固定层 掩模作为引导件，其中基本上没有蚀刻固定层，并且其中固定层在交叉轨道方向上延伸超过自由层的两侧，并且在自由层的两侧上形成磁畴控制膜 跨轨道方向，磁畴控制膜包括软磁材料。

公开(公告)号：US08997334B2

公开(公告)日：2015-04-07

申请号：US13960641

申请日：2013-08-06

申请人： Hon Hai Precision Industry Co., Ltd.

发明人： Tzu-Nan Chou

IPC分类号： G11B5/127 ,  H02K15/00 ,  H02K41/035

CPC分类号： H02K15/00 ,  H02K41/0356 ,  Y10T29/49025 ,  Y10T29/49052 ,  Y10T29/53143 ,  Y10T29/53174

摘要： An auxiliary tool for assembling a number of voice coil motors includes a number of trays, a rod member, and two limiting members. Each tray defines a through hole. The rod member passes through the through holes of the trays. The two limiting members are sleeved over the rod member at two ends of the rod member, the trays being between the two limiting members, each two neighboring trays being configured for clamping a respective one of the voice coil motors.

摘要翻译： 用于组装多个音圈电机的辅助工具包括多个托盘，杆构件和两个限制构件。 每个托盘定义一个通孔。 杆件穿过托盘的通孔。 两个限制件在杆件的两端处套在杆件上，托盘位于两个限制件之间，每个两个相邻的托盘被配置用于夹紧相应的一个音圈马达。

公开(公告)号：US08984741B2

公开(公告)日：2015-03-24

申请号：US13458374

申请日：2012-04-27

申请人： Yi Zheng ,  Guomin Mao ,  Hicham M. Sougrati ,  Xiaozhong Dang

发明人： Yi Zheng ,  Guomin Mao ,  Hicham M. Sougrati ,  Xiaozhong Dang

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00 ,  G11B5/31 ,  G11B5/39

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/398 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method for manufacturing a magnetic read sensor allows for the construction of a very narrow trackwidth sensor while avoiding problems related to mask liftoff and shadowing related process variations across a wafer. The process involves depositing a plurality of sensor layers and forming a first mask structure. The first mask structure has a relatively large opening that encompasses a sensor area and an area adjacent to the sensor area where a hard bias structure can be deposited. A second mask structure is formed over the first mask structure and includes a first portion that is configured to define a sensor dimension and a second portion that is over the first mask structure in the field area.

摘要翻译： 用于制造磁读取传感器的方法允许构造非常窄的轨道宽度传感器，同时避免与晶片上的掩模剥离和遮蔽相关的工艺变化相关的问题。 该方法包括沉积多个传感器层并形成第一掩模结构。 第一掩模结构具有相对较大的开口，其包围传感器区域和邻近传感器区域的区域，其中可以沉积硬偏压结构。 第二掩模结构形成在第一掩模结构之上，并且包括被配置为限定传感器尺寸的第一部分和位于场区域中的第一掩模结构之上的第二部分。

公开(公告)号：US20150079699A1

公开(公告)日：2015-03-19

申请号：US14532797

申请日：2014-11-04

申请人： Everspin Technologies, Inc.

发明人： Sarin Deshpande ,  Sanjeev Aggarwal ,  Kerry Nagel

IPC分类号： H01L43/12

CPC分类号： G11B5/127 ,  G11C11/161 ,  H01L43/12 ,  Y10T29/49052

摘要： A method of manufacturing a magnetoresistive-based device includes a metal hard mask that is inert to a top electrode etch chemistry and that has low sputter yield during a magnetic stack sputter. The metal hard mask is patterned by the photo resist and the photo mask is then stripped and the top electrode (overlying magnetic materials of the magnetoresistive-based device) is patterned by the metal hard mask.

摘要翻译： 制造基于磁阻的器件的方法包括对顶部电极蚀刻化学物质是惰性的并且在磁堆栈溅射期间具有低的溅射产率的金属硬掩模。 金属硬掩模由光致抗蚀剂构图，然后剥离光掩模，并且通过金属硬掩模对顶部电极（基于磁阻的装置的覆盖磁性材料）进行图案化。

公开(公告)号：US08914969B1

公开(公告)日：2014-12-23

申请号：US13717057

申请日：2012-12-17

申请人： Western Digital (Fremont), LLC

发明人： Xiaotian Zhou ,  Hongzhou Jiang ,  Donghong Li ,  Lien-Chang Wang ,  Ching-Huang Lu ,  Wencheng Su ,  Lieping Zhong ,  Tao Pan

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00 ,  G11B5/31

CPC分类号： G11B5/315 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method fabricates a magnetic transducer. A sacrificial leading shield is provided on an etch stop layer. A nonmagnetic layer is provided on the sacrificial leading shield. A pole trench is formed in the nonmagnetic layer and on the sacrificial leading shield. A pole is formed. The pole has a bottom and a top wider than the bottom in a pole tip region. Part of the pole in the pole tip region is in the pole trench and at the ABS location. The sacrificial leading shield and part of the nonmagnetic layer adjacent to the pole are removed. An air bridge thus resides in place of the sacrificial leading shield between the portion of the pole and the etch stop layer. As least one shield layer is provided. The at least one shield layer substantially fills the air bridge and form a monolithic shield including a leading and side shields.

摘要翻译： 一种制造磁性换能器的方法。 在蚀刻停止层上提供牺牲前导屏蔽。 在牺牲导电屏蔽上提供非磁性层。 在非磁性层和牺牲导电屏蔽上形成极沟槽。 一个极点形成。 极点在极尖区域具有底部和顶部宽于底部。 极尖区域的极点的一部分在极沟和ABS位置。 牺牲前导屏蔽和邻近极点的非磁性层的一部分被去除。 因此，空气桥代替在极的部分和蚀刻停止层之间的牺牲前导屏蔽。 至少提供一个屏蔽层。 所述至少一个屏蔽层基本上填充所述空气桥并形成包括前屏蔽和侧面屏蔽的整体屏蔽。

公开(公告)号：US20140327988A1

公开(公告)日：2014-11-06

申请号：US13887900

申请日：2013-05-06

申请人： SEAGATE TECHNOLOGY LLC

发明人： Xin Cao ,  Frances Paula McElhinney ,  Jiansheng Xu ,  Marcus Winston Ormston

IPC分类号： G11B5/187 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/398 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49052

摘要： A data reader can be configured with at least a magnetically responsive lamination that has a first portion with a first stripe height from an air bearing surface (ABS) and a second portion with a different second stripe height from the ABS. The first portion can be constructed to have a back edge surface shaped at a predetermined angle relative to the ABS by a back edge feature.

摘要翻译： 数据读取器可以配置有至少一个磁响应层压体，其具有第一部分，该第一部分具有来自空气轴承表面（ABS）的第一条带高度，以及具有与ABS不同的第二条纹高度的第二部分。 第一部分可以构造成具有通过后边缘特征相对于ABS以预定角度成形的后边缘表面。

公开(公告)号：US08726491B2

公开(公告)日：2014-05-20

申请号：US13373128

申请日：2011-11-04

申请人： Cheng T. Horng ,  Ru-Ying Tong

发明人： Cheng T. Horng ,  Ru-Ying Tong

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G01R33/098 ,  G01R33/1284 ,  G11C11/161 ,  H01L43/08 ,  H01L43/10 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052 ,  Y10T428/1107 ,  Y10T428/1114 ,  Y10T428/1121 ,  Y10T428/1129 ,  Y10T428/1136 ,  Y10T428/1143

摘要： A dual spin filter that minimizes spin-transfer magnetization switching current (Jc) while achieving a high dR/R in STT-RAM devices is disclosed. The bottom spin valve has a MgO tunnel barrier layer formed with a natural oxidation process to achieve low RA, a CoFe/Ru/CoFeB—CoFe pinned layer, and a CoFeB/FeSiO/CoFeB composite free layer with a middle nanocurrent channel (NCC) layer to minimize Jc0. The NCC layer may have be a composite wherein conductive M(Si) grains are magnetically coupled with adjacent ferromagnetic layers and are formed in an oxide, nitride, or oxynitride insulator matrix. The upper spin valve has a Cu spacer to lower the free layer damping constant. A high annealing temperature of 360° C. is used to increase the MR ratio above 100%. A Jc0 of less than 1×106 A/cm2 is expected based on quasistatic measurements of a MTJ with a similar MgO tunnel barrier and composite free layer.

摘要翻译： 公开了在STT-RAM器件中实现高dR / R的同时使自旋迁移磁化开关电流（Jc）最小化的双自旋滤波器。 底部自旋阀具有通过自然氧化工艺形成的MgO隧道阻挡层，以实现低RA，CoFe / Ru / CoFeB-CoFe钉扎层和具有中等纳米通道（NCC）的CoFeB / FeSiO / CoFeB复合材料自由层， 层以最小化Jc0。 NCC层可以是其中导电M（Si）晶粒与相邻铁磁层磁耦合并且形成在氧化物，氮化物或氧氮化物绝缘体基体中的复合材料。 上自旋阀具有Cu间隔物以降低自由层阻尼常数。 使用360℃的高退火温度将MR比提高到100％以上。 基于具有类似的MgO隧道势垒和复合自由层的MTJ的准静态测量，预期小于1×106A / cm 2的Jc0。

公开(公告)号：US08689430B1

公开(公告)日：2014-04-08

申请号：US11605635

申请日：2006-11-29

申请人： Yingjian Chen ,  Kyusik Sin

发明人： Yingjian Chen ,  Kyusik Sin

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/11 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49041 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method and system for providing a perpendicular magnetic recording (PMR) head are disclosed. A PMR pole having a bottom and a top wider than the bottom is provided. The PMR pole may be formed by depositing a PMR pole layer, then removing part of the PMR pole layer, leaving the PMR pole. The PMR pole may also be provided by forming a trench having the desired profile in a photoresist layer, depositing the PMR pole layer, then removing the photoresist layer, leaving the PMR pole in the location of the trench. A side gap is deposited over the PMR pole. A side shield is provided on the side gap. A planarization that removes part of the side shield on the PMR pole is performed. A top gap is provided on the PMR pole, substantially covering the entire PMR pole. A top shield is provided on the top gap.

摘要翻译： 公开了一种用于提供垂直磁记录（PMR）头的方法和系统。 提供具有底部和顶部宽于底部的PMR极。 可以通过沉积PMR极层，然后去除部分PMR极层，离开PMR极来形成PMR极。 也可以通过在光致抗蚀剂层中形成具有所需轮廓的沟槽来提供PMR极，沉积PMR极层，然后去除光致抗蚀剂层，将PMR极留在沟槽的位置。 侧面间隙沉积在PMR极上。 侧面屏蔽设置在侧面间隙上。 执行去除PMR极上侧面屏蔽部分的平面化。 在PMR极上提供顶部间隙，基本覆盖整个PMR极。 在顶部间隙上提供顶部屏蔽。