公开(公告)号：US09023221B2

公开(公告)日：2015-05-05

申请号：US13451775

申请日：2012-04-20

申请人： Yun-sung Woo ,  Jae-young Choi ,  Won-mook Choi ,  Hyeon-jin Shin ,  Seon-mi Yoon

发明人： Yun-sung Woo ,  Jae-young Choi ,  Won-mook Choi ,  Hyeon-jin Shin ,  Seon-mi Yoon

IPC分类号： B44C1/22 ,  B32B37/02 ,  H01L21/027 ,  C01B31/02 ,  C01B31/04 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

CPC分类号： B32B37/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/186 ,  C01B2204/02 ,  C01B2204/04 ,  H01L21/0272

摘要： A method of forming a multi-layer graphene includes forming a stack of a graphitizing metal catalyst layer and graphene by repeatedly performing a cycle of first forming the graphitizing metal catalyst layer on a substrate, and then forming the graphene on the graphitizing metal catalyst layer, and removing the graphitizing metal catalyst layer.

摘要翻译： 形成多层石墨烯的方法包括通过重复进行在基板上首先形成石墨化金属催化剂层，然后在石墨化金属催化剂层上形成石墨烯的循环来形成石墨化金属催化剂层和石墨烯的堆叠， 并除去石墨化金属催化剂层。

公开(公告)号：US20120267041A1

公开(公告)日：2012-10-25

申请号：US13451775

申请日：2012-04-20

申请人： Yun-sung Woo ,  Jae-young Choi ,  Won-mook Choi ,  Hyeon-jin Shin ,  Seon-mi Yoon

发明人： Yun-sung Woo ,  Jae-young Choi ,  Won-mook Choi ,  Hyeon-jin Shin ,  Seon-mi Yoon

IPC分类号： C01B31/02 ,  B32B37/02

CPC分类号： B32B37/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/186 ,  C01B2204/02 ,  C01B2204/04 ,  H01L21/0272

摘要： A method of forming a multi-layer graphene includes forming a stack of a graphitizing metal catalyst layer and graphene by repeatedly performing a cycle of first forming the graphitizing metal catalyst layer on a substrate, and then forming the graphene on the graphitizing metal catalyst layer, and removing the graphitizing metal catalyst layer.

摘要翻译： 形成多层石墨烯的方法包括通过重复进行在基板上首先形成石墨化金属催化剂层，然后在石墨化金属催化剂层上形成石墨烯的循环来形成石墨化金属催化剂层和石墨烯的堆叠， 并除去石墨化金属催化剂层。