公开(公告)号：US2952528A

公开(公告)日：1960-09-13

申请号：US61528556

申请日：1956-10-11

Applicant: TEXAS INSTRUMENTS INC

Inventor： BOYD CORNELISON

IPC: C23F1/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: C23F1/00 ,  H01L21/00

公开(公告)号：US2738676A

公开(公告)日：1956-03-20

申请号：US14012450

申请日：1950-01-23

Applicant: TEXAS INSTRUMENTS INC

Inventor： WORDEN SAMUEL P ,  BOYD CORNELISON

IPC: G01V7/08

CPC classification number: G01V7/08