公开(公告)号：US20070259468A1

公开(公告)日：2007-11-08

申请号：US11744124

申请日：2007-05-03

申请人： Zhenfang Chen ,  Jeffrey Birkmeyer

发明人： Zhenfang Chen ,  Jeffrey Birkmeyer

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L41/337 ,  H01L41/313 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49155

摘要： Techniques are described for forming actuators having piezoelectric material. A block of piezoelectric material is bonded to a transfer substrate. The block is then polished. The polished surface is bonded to a MEMS body.

摘要翻译： 描述了用于形成具有压电材料的致动器的技术。 一块压电材料结合到转印衬底上。 然后将该块抛光。 抛光表面结合到MEMS体。