公开(公告)号：US20160215085A1

公开(公告)日：2016-07-28

申请号：US14981194

申请日：2015-12-28

申请人： Samsung Electronics Co., Ltd.

发明人： Junwon HAN ,  Su-Jin KWON ,  Seungwon KIM ,  Hyunwoo KIM ,  Jungsik CHOI

IPC分类号： C08F293/00 ,  C08L53/00

CPC分类号： C08F6/12 ,  C08L53/00

摘要： The inventive concepts provide methods of purifying a block copolymer and methods of forming a pattern using the same. The purifying method is performed using a first adsorbent. The first adsorbent has adsorbability with respect to a first polymer block having a molecular weight equal to or greater than a first average molecular weight. The purifying method further includes purifying a synthesized polymer using a second adsorbent. The second adsorbent interacts with a second polymer block.

摘要翻译： 本发明的概念提供了纯化嵌段共聚物的方法和使用其形成图案的方法。 纯化方法使用第一吸附剂进行。 第一吸附剂相对于分子量等于或大于第一平均分子量的第一聚合物嵌段具有吸附性。 纯化方法还包括使用第二吸附剂纯化合成的聚合物。 第二吸附剂与第二聚合物嵌段相互作用。