公开(公告)号：US4874240A

公开(公告)日：1989-10-17

申请号：US162431

申请日：1988-03-01

申请人： Michael P. C. Watts ,  Thiloma I. Perera ,  David W. Myers ,  Robert G. Ozarski ,  John F. Schipper ,  Raul V. Tan

发明人： Michael P. C. Watts ,  Thiloma I. Perera ,  David W. Myers ,  Robert G. Ozarski ,  John F. Schipper ,  Raul V. Tan

IPC分类号： G03F7/26 ,  G03F7/16 ,  G03F7/38

CPC分类号： G03F7/168

摘要： Several methods for evaluating certain changes induced in a film of semiconductor resist material after the coat process and before or at completion of the softbake process, by monitoring thickness of and absorption by a film of resist material.

公开(公告)号：US4510605A

公开(公告)日：1985-04-09

申请号：US477456

申请日：1983-03-21

申请人： E. Victor George ,  John F. Schipper

发明人： E. Victor George ,  John F. Schipper

IPC分类号： H01S3/07 ,  H01S3/08 ,  H01S3/082 ,  H01S3/10

CPC分类号： H01S3/082 ,  H01S3/073 ,  H01S3/0809

摘要： Method and apparatus for generating two distinct laser frequencies in an optical cavity, using a "T" configuration laser cavity and means for intermittently increasing or decreasing the index of refraction n of an associated transmission medium in one arm of the optical cavity to enhance laser action in one arm or the second arm of the cavity.

摘要翻译： 用于在光腔中产生两个不同的激光频率的方法和装置，使用“T”结构的激光腔和用于间歇地增加或减小光腔的一个臂中的相关传输介质的折射率n以增强激光作用的装置 在一个臂或腔的第二个臂。