公开(公告)号：US5207759A

公开(公告)日：1993-05-04

申请号：US763228

申请日：1991-09-20

申请人： Yassin Mehmandoust ,  Atef H. Eltoukhy ,  Abdoul H. Riahi-Samani

发明人： Yassin Mehmandoust ,  Atef H. Eltoukhy ,  Abdoul H. Riahi-Samani

IPC分类号： B24B37/04 ,  G11B5/84

CPC分类号： B24B37/04

摘要： A method for texturing a disc substrate, and a particle slurry for use in the method. The slurry includes two populations of different-size particles, preferably one population containing particles in a 3 micron size range, and a second population containing particles in a 1 micron size range. The particles, when used to abrade the surface of a disc, create a surface texture characterized by a low peak/peak-to-valley ratio.

摘要翻译： 一种盘基片的纹理化方法和用于该方法的颗粒浆料。 浆料包括两个不同大小的颗粒群，优选一个含有3微米尺寸范围的颗粒的群体，以及含有1微米尺寸范围的颗粒的第二群体。 当用于研磨盘表面时，颗粒产生以峰值/峰谷比低的特征的表面纹理。