公开(公告)号：US5557113A

公开(公告)日：1996-09-17

申请号：US198751

申请日：1994-02-18

申请人： Abigail A. Moorhouse ,  Christopher R. Fairley ,  Phillip R. Rigg ,  Alan Helgesson

发明人： Abigail A. Moorhouse ,  Christopher R. Fairley ,  Phillip R. Rigg ,  Alan Helgesson

IPC分类号： G02B21/00 ,  G06T15/10 ,  G01N21/00 ,  G01B11/24

CPC分类号： G06T15/10 ,  G02B21/006 ,  G02B21/008

摘要： A method and apparatus for generating a surface image of a target. The laser beam of a confocal laser microscope is moved along a scanning pattern on an area of a target. During each scanning pattern, the resulting electronic focus signal of the microscope is sampled at defined positions along the scanning pattern to generate a frame of pixel intensity values. At the end of each scanning pattern, the height of the target is slightly increased. A new frame of pixel intensity values is generated for each height of the target. The pixel intensity values of the frames are compared. The maximum pixel intensity value for each defined position along the scanning pattern is stored to create a single frame representative of the surface image of the target. In an alternate embodiment, the height at which each maximum pixel intensity value was measured is stored in a separate memory.

摘要翻译： 一种用于产生目标的表面图像的方法和装置。 共聚焦激光显微镜的激光束沿着目标区域上的扫描图案移动。 在每个扫描图案期间，在扫描图案的限定位置对显微镜的所得电子聚焦信号进行采样，以产生像素强度值的帧。 在每个扫描图案结束时，目标的高度稍微增加。 为目标的每个高度生成新的像素强度值帧。 比较帧的像素强度值。 存储沿着扫描图案的每个限定位置的最大像素强度值，以产生代表目标的表面图像的单个帧。 在替代实施例中，测量每个最大像素强度值的高度被存储在单独的存储器中。