公开(公告)号：US20070090314A1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：US10559409

申请日：2004-06-07

申请人： Wouter Van Der Wijngaart ,  Goran Stemme ,  Anthony Ridgeway

发明人： Wouter Van Der Wijngaart ,  Goran Stemme ,  Anthony Ridgeway

IPC分类号： F16K31/02 ,  F16K31/06

CPC分类号： F16K99/0001 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0046 ,  F16K99/0048 ,  F16K99/0051 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  Y10T137/87217

摘要： The present invention discloses a microvalve for providing pneumatic-flow regulation suitable for use in microsystem applications that are operable using highly efficient actuation means for flow obstruction while being space efficient in design in a manner that is suitable for cost effective bullsk microfabrication. In an embodiment of the invention, the microvalve comprises a first substrate layer, a second layer disposed over the first substrate layer cooperating with the first substrate layer to form a channel through which the flow traverses and defines a direction of the flow. An obstruction element or knife gate is micromachined into the second layer such that it is pivotably attached and actuated with a bimorph actuator to displace the gate along a plane that is substantially perpendicular to the direction of the flow in order to controllably regulate the flow. In a further embodiment, a microsystem comprising the microvalve concept of the invention is microfabricated into an IP-converter for pneumatic high flow pressure control applications.

摘要翻译： 本发明公开了一种用于提供适用于微系统应用中的气动流量调节的微型阀，其可以使用高效的用于流动阻塞的致动装置来操作，同时在适合于具有成本效益的牛排微细加工的方式中设计时具有空间效率。 在本发明的一个实施例中，微型阀包括第一衬底层，设置在与第一衬底层协作的第一衬底层上的第二层，以形成流体穿过的通道并限定流动的方向。 障碍元件或刀门微机械加工到第二层中，使得其可旋转地连接并用双压电晶片致动器致动，以沿着基本上垂直于流动方向的平面移位栅极，以便可控制地调节流量。 在另一个实施例中，包括本发明的微型阀概念的微系统被微加工成用于气动高流量压力控制应用的IP转换器。