公开(公告)号：US07323699B2

公开(公告)日：2008-01-29

申请号：US11047877

申请日：2005-02-02

申请人： Barry F. Hopkins ,  David J. Ray ,  Jeffrey E. LeClaire ,  Roy White

发明人： Barry F. Hopkins ,  David J. Ray ,  Jeffrey E. LeClaire ,  Roy White

IPC分类号： G01N13/16

CPC分类号： H01L21/30608 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/316 ,  H01L21/3185 ,  H01L21/32134 ,  H01L21/76892

摘要： A method and apparatus includes positioning a reactant on a surface in specific location and then directing an energy source from a device at the reactant such that it modifies the surface to either remove material or add material.

摘要翻译： 一种方法和装置包括将反应物定位在特定位置的表面上，然后将能源从反应物上的装置引导，使得其改变表面以去除材料或添加材料。

公开(公告)号：US07495240B2

公开(公告)日：2009-02-24

申请号：US11415203

申请日：2006-05-02

申请人： Barry F. Hopkins ,  David J. Ray ,  Jeffrey E. LeClaire ,  Roy White

发明人： Barry F. Hopkins ,  David J. Ray ,  Jeffrey E. LeClaire ,  Roy White

IPC分类号： G01N13/16 ,  H01L21/302 ,  H01L21/461

CPC分类号： H01L21/30608 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/316 ,  H01L21/3185 ,  H01L21/32134 ,  H01L21/76892

摘要： A method and apparatus includes positioning a reactant on a surface in specific location and then directing an energy source from a device at the reactant such that it modifies the surface to either remove material or add material.

摘要翻译： 一种方法和装置包括将反应物定位在特定位置的表面上，然后将能源从反应物上的装置引导，使得其改变表面以去除材料或添加材料。

公开(公告)号：US20090114850A1

公开(公告)日：2009-05-07

申请号：US12353576

申请日：2009-01-14

申请人： Barry F. HOPKINS ,  David J. Ray ,  Jeffrey E. LeClaire ,  Roy White

发明人： Barry F. HOPKINS ,  David J. Ray ,  Jeffrey E. LeClaire ,  Roy White

IPC分类号： G01N13/16

CPC分类号： H01L21/30608 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/316 ,  H01L21/3185 ,  H01L21/32134 ,  H01L21/76892

摘要： A method and apparatus includes positioning a reactant on a surface in specific location and then directing an energy source from a device at the reactant such that it modifies the surface to either remove material or add material.

摘要翻译： 一种方法和装置包括将反应物定位在特定位置的表面上，然后将能源从反应物上的装置引导，使得其改变表面以去除材料或添加材料。