公开(公告)号：US06655898B1

公开(公告)日：2003-12-02

申请号：US10014765

申请日：2001-12-11

申请人： David Liu-Barba ,  Simon Tong

发明人： David Liu-Barba ,  Simon Tong

IPC分类号： B65G4907

CPC分类号： H01L21/67769 ,  H01L21/67766 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/14

摘要： An apparatus and method for simultaneously cycle-testing two wafer storage containers is provided. The two wafer containers are maintained in a counterbalance relationship to each other and cycled in a vertical up-and-down motion to simulate the forces of a selected overhead transport system.

摘要翻译： 提供了一种用于同时循环测试两个晶片存储容器的装置和方法。 两个晶片容器保持彼此的平衡关系，并以垂直上下运动循环，以模拟选定的架空输送系统的力。