公开(公告)号：US08257781B1

公开(公告)日：2012-09-04

申请号：US11201709

申请日：2005-08-11

申请人： Eric G. Webb ,  Steven T. Mayer ,  David Mark Dinneen ,  Edmund B. Minshall ,  Christopher M. Bartlett ,  R. Marshall Stowell ,  Mark T. Winslow ,  Avishai Kepten ,  Jingbin Feng ,  Norman D. Kaplan ,  Richard K. Lyons ,  John B. Alexy

发明人： Eric G. Webb ,  Steven T. Mayer ,  David Mark Dinneen ,  Edmund B. Minshall ,  Christopher M. Bartlett ,  R. Marshall Stowell ,  Mark T. Winslow ,  Avishai Kepten ,  Jingbin Feng ,  Norman D. Kaplan ,  Richard K. Lyons ,  John B. Alexy

IPC分类号： C23C14/00

CPC分类号： C23C18/1617 ,  C23C18/1632 ,  C23C18/1676 ,  C23C18/168 ,  C23C18/1682 ,  H01L21/288 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/76841

摘要： A main reservoir holds cool reactant liquid. A reaction vessel for treating a substrate is connected to the main reservoir by a feed conduit. A heater is configured to heat reactant liquid in the feed conduit before the liquid enters the reaction vessel. Preferably, the heater is a microwave heater. A recycle conduit connects the reaction vessel with the main reservoir. Preferably, a recycle cooler cools reactant liquid in the recycle conduit before the liquid returns to the main reservoir. Preferably, an accumulation vessel is integrated in the feed conduit for accumulating, heating, conditioning and monitoring reactant liquid before it enters the reaction vessel. Preferably, a recycle accumulator vessel is integrated in the recycle conduit to accommodate reactant liquid as it empties out of the reaction vessel.

摘要翻译： 主要储存器容纳冷反应液体。 用于处理基板的反应容器通过进料导管连接到主容器。 加热器构造成在液体进入反应容器之前加热进料管道中的反应物液体。 优选地，加热器是微波加热器。 回收管道将反应容器与主储存器连接。 优选地，再循环冷却器在液体返回到主储存器之前冷却循环管道中的反应物液体。 优选地，积聚容器集成在进料管道中，用于在反应液进入反应容器之前积聚，加热，调节和监测反应液体。 优选地，再循环蓄能器容器集成在再循环管道中，以便当反应物液体从反应容器中排出时容纳反应液体。