公开(公告)号：US06870361B2

公开(公告)日：2005-03-22

申请号：US10328345

申请日：2002-12-21

申请人： Nasreen G. Chopra ,  David Paul Basile ,  Jene A. Golovchenko

发明人： Nasreen G. Chopra ,  David Paul Basile ,  Jene A. Golovchenko

IPC分类号： H01L23/532 ,  G01N27/00 ,  H01L21/00 ,  H01L23/58

CPC分类号： B82Y30/00 ,  B82Y15/00 ,  H01L23/53276 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S977/734 ,  H01L2924/00

摘要： A nano-scale system is provided, and a method of manufacture therefor, including a support material, a nanotube embedded in the support material and an electrical connection to the nanotube.

摘要翻译： 提供了一种纳米级系统及其制造方法，包括支撑材料，嵌入支撑材料中的纳米管和与纳米管的电连接。