公开(公告)号：US20120244290A1

公开(公告)日：2012-09-27

申请号：US13070846

申请日：2011-03-24

申请人： Richard S. Mullin ,  Anatoly Kuzmichev ,  Igor V. Belousov ,  Yuriy G. Kononenko ,  Oleg G. Pankov ,  Dmitriy Ryzhikov

发明人： Richard S. Mullin ,  Anatoly Kuzmichev ,  Igor V. Belousov ,  Yuriy G. Kononenko ,  Oleg G. Pankov ,  Dmitriy Ryzhikov

IPC分类号： B05C11/00 ,  C23C16/458 ,  B05D1/00 ,  C23C16/44 ,  B05C9/00 ,  B05C13/00

CPC分类号： C23C14/541 ,  G01K1/026

摘要： The disclosure provides an apparatus for depositing a coating on one or more parts (21). The apparatus has: a chamber (22); a part holder (64) for carrying the part(s); a bias voltage source (94) coupled to the part(s) to apply a bias voltage to the part(s); a source (34) of the coating material; a plurality of temperature sensors (76); and a plurality of leads (90) passing outputs of the temperature sensors out from the chamber. A temperature monitoring system (150) has a temperature data processor (300). At least one fiber optic link (223) couples the temperature data processor to the temperature sensors so as to electrically isolate the temperature data processor from the bias voltage.

摘要翻译： 本公开提供了一种用于在一个或多个部分（21）上沉积涂层的装置。 该装置具有：一个室（22）; 用于承载部件的零件保持器（64）; 耦合到所述部分的偏置电压源（94）以向所述部件施加偏置电压; 涂料的源（34）; 多个温度传感器（76）; 以及多个引线（90）将温度传感器的输出从腔室传出。 温度监测系统（150）具有温度数据处理器（300）。 至少一个光纤链路（223）将温度数据处理器耦合到温度传感器，以将温度数据处理器与偏置电压电隔离。