公开(公告)号：US07433057B2

公开(公告)日：2008-10-07

申请号：US11398193

申请日：2006-04-05

申请人： Paul E. Murphy ,  Dragisha Miladinovic ,  Greg W. Forbes ,  Gary M. DeVries ,  Jon F. Fleig

发明人： Paul E. Murphy ,  Dragisha Miladinovic ,  Greg W. Forbes ,  Gary M. DeVries ,  Jon F. Fleig

IPC分类号： G01B11/24

CPC分类号： G01J9/02 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02063 ,  G01B9/02072 ,  G01B9/02085 ,  G01M11/025 ,  G01M11/0257 ,  G01M11/0271 ,  G01M11/0278

摘要： A system comprising a plurality of methods for measuring surfaces or wavefronts from a test part with greatly improved accuracy, particularly the higher spatial frequencies on aspheres. These methods involve multiple measurements of a test part. One of the methods involves calibration and control of the focusing components of a metrology gauge in order to avoid loss of resolution and accuracy when the test part is repositioned with respect to the gauge. Other methods extend conventional averaging methods for suppressing the higher spatial-frequency structure in the gauge's inherent slope-dependent inhomogeneous bias. One of these methods involve averages that suppress the part's higher spatial-frequency structure so that the gauge's bias can be disambiguated; another method directly suppresses the gauge's bias within the measurements. All of the methods can be used in conjunction in a variety of configurations that are tailored to specific geometries and tasks.

摘要翻译： 一种包括用于从测试部分测量表面或波前的多种方法的系统，其精度大大提高，特别是在非球面上的较高的空间频率。 这些方法涉及测试部件的多次测量。 其中一种方法包括校准和控制计量计的聚焦部件，以避免当测试部件相对于量规重新定位时，分辨率和精度的损失。 其他方法扩展了常规的平均方法，用于抑制计量器固有的斜率依赖性非均匀偏差中较高的空间 - 频率结构。 这些方法之一涉及平均值，可以抑制零件的较高的空间 - 频率结构，从而消除量规的偏差; 另一种方法直接抑制仪表在测量中的偏差。 所有这些方法可以结合适用于特定几何和任务的各种配置。

公开(公告)号：US20060221350A1

公开(公告)日：2006-10-05

申请号：US11398193

申请日：2006-04-05

申请人： Paul Murphy ,  Dragisha Miladinovic ,  Greg Forbes ,  Gary DeVries ,  Jon Fleig

发明人： Paul Murphy ,  Dragisha Miladinovic ,  Greg Forbes ,  Gary DeVries ,  Jon Fleig

IPC分类号： G01B11/14

CPC分类号： G01J9/02 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02063 ,  G01B9/02072 ,  G01B9/02085 ,  G01M11/025 ,  G01M11/0257 ,  G01M11/0271 ,  G01M11/0278

摘要： A system comprising a plurality of methods for measuring surfaces or wavefronts from a test part with greatly improved accuracy, particularly the higher spatial frequencies on aspheres. These methods involve multiple measurements of a test part. One of the methods involves calibration and control of the focusing components of a metrology gauge in order to avoid loss of resolution and accuracy when the test part is repositioned with respect to the gauge. Other methods extend conventional averaging methods for suppressing the higher spatial-frequency structure in the gauge's inherent slope-dependent inhomogeneous bias. One of these methods involve averages that suppress the part's higher spatial-frequency structure so that the gauge's bias can be disambiguated; another method directly suppresses the gauge's bias within the measurements. All of the methods can be used in conjunction in a variety of configurations that are tailored to specific geometries and tasks.

摘要翻译： 一种包括用于从测试部分测量表面或波前的多种方法的系统，其精度大大提高，特别是在非球面上的较高的空间频率。 这些方法涉及测试部件的多次测量。 其中一种方法包括校准和控制计量计的聚焦部件，以避免当测试部件相对于量规重新定位时，分辨率和精度的损失。 其他方法扩展了常规的平均方法，用于抑制计量器固有的斜率依赖性非均匀偏差中较高的空间 - 频率结构。 这些方法之一涉及平均值，可以抑制零件的较高的空间 - 频率结构，从而消除量规的偏差; 另一种方法直接抑制仪表在测量中的偏差。 所有这些方法可以结合适用于特定几何和任务的各种配置。