公开(公告)号：US5621312A

公开(公告)日：1997-04-15

申请号：US498190

申请日：1995-07-05

申请人： Alan Achor ,  Eric F. H. Chun ,  Ernest Allen

发明人： Alan Achor ,  Eric F. H. Chun ,  Ernest Allen

IPC分类号： G01R35/00 ,  G01R31/02

CPC分类号： G01R35/005

摘要： A method and apparatus for checking the integrity of a device tester used in the manufacture of semiconductor devices. A device tester is used to exercise different aspects of a semiconductor device. The tester is programmed with appropriate control software that fully tests the electrical and functional characteristics of the semiconductor device.

摘要翻译： 一种用于检查用于制造半导体器件的器件测试仪的完整性的方法和装置。 器件测试器用于锻炼半导体器件的不同方面。 测试仪使用适当的控制软件进行编程，该软件可以充分测试半导体器件的电气和功能特性。