公开(公告)号：US07241920B2

公开(公告)日：2007-07-10

申请号：US11420742

申请日：2006-05-27

申请人： Erik J. Mori ,  Brian Hong ,  James Craig

发明人： Erik J. Mori ,  Brian Hong ,  James Craig

IPC分类号： C09K13/00

CPC分类号： C09K13/08

摘要： An improved aqueous soluble surfactant which has particular utility for incorporating in etchants for semiconductor devices is provided. The surfactant comprises a combination of a linear perfluorocarboxylic acid, a cyclic amine and an aliphatic alcohol.

摘要翻译： 提供了一种改进的水溶性表面活性剂，其特别适用于掺入用于半导体器件的蚀刻剂中。 表面活性剂包括直链全氟羧酸，环胺和脂族醇的组合。