公开(公告)号：US06398640B1

公开(公告)日：2002-06-04

申请号：US09065114

申请日：1999-10-18

申请人： Gabi Grützner ,  Anja Voigt ,  Jürgen Bendig ,  Ines Schmidt ,  Erika Sauer

发明人： Gabi Grützner ,  Anja Voigt ,  Jürgen Bendig ,  Ines Schmidt ,  Erika Sauer

IPC分类号： G03F7012

CPC分类号： G03F7/008

摘要： The invention relates top a light sensitive, aqueous alkali developing, negatively acting resist, comprising a phenolic resin as a binder, and a diazostilbene disulfonic acid ester light sensitive component, a solvent or mixture of solvents, and film forming and/or film stabilizing additives, and to a process for preparing the light sensitive component.

摘要翻译： 本发明涉及一种光敏水性碱性显影负极作用抗蚀剂，其包含酚醛树脂作为粘合剂，重氮茋二磺酸酯光敏组分，溶剂或溶剂混合物，以及成膜和/或膜稳定添加剂 ，以及制备光敏组分的方法。