公开(公告)号：US5017073A

公开(公告)日：1991-05-21

申请号：US434417

申请日：1989-11-09

申请人： Gregor Strasser ,  Gerald Zohrer ,  Roman Schertler ,  Heinrich Fischer

发明人： Gregor Strasser ,  Gerald Zohrer ,  Roman Schertler ,  Heinrich Fischer

IPC分类号： B23Q7/00 ,  C23C14/56 ,  G11B7/26 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67201 ,  C23C14/566 ,  Y10S414/139

摘要： A lock chamber for conveying a workpiece from one medium (U.sub.0) into another medium (U.sub.7) which comprises a lever (11) acting as a transport system and pivotably mounted in the chamber on one side. With lock gates (5a, 5b) moves aside the lever (11) can swing out by a required degree into the respective media (U.sub.7, U.sub.0). With the design of the transport system as unilaterally mounted levers (11), the volume of the lock chamber is largely independent of the trajectory of the lever and the volume can be minimized (FIG. 1).

摘要翻译： 一种用于将工件从一个介质（U0）传送到另一个介质（U7）的锁定室，该介质包括用作输送系统的杠杆（11）并且在一侧可枢转地安装在该室中。 当锁定门（5a，5b）移动时，杠杆（11）能够以所需的程度摆放到各个介质（U7，U0）中。 由于作为单向安装的杠杆（11）的输送系统的设计，锁定室的体积很大程度上独立于杠杆的轨迹并且可以使体积最小化（图1）。