公开(公告)号：US5221190A

公开(公告)日：1993-06-22

申请号：US849620

申请日：1992-03-10

申请人： Joseph Romer ,  Hans-Jurgen Mundinger ,  Gunther Krischer

发明人： Joseph Romer ,  Hans-Jurgen Mundinger ,  Gunther Krischer

IPC分类号： F04B37/02 ,  H01J41/12

CPC分类号： H01J41/12 ,  F04B37/02

摘要： The invention relates to an ion sputtering pump having a housing with at least one getter module located in the housing. The getter module has a heating device. In order to reduce the amount of time required for the activation and regeneration of the getter module, the heating device is in direct, intimate thermal contact with the getter module.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有壳体的离子溅射泵，该壳体具有位于壳体中的至少一个吸气剂模块。 吸气剂模块具有加热装置。 为了减少吸气剂模块的激活和再生所需的时间，加热装置与吸气剂模块直接热密接触。