公开(公告)号：US08530039B2

公开(公告)日：2013-09-10

申请号：US12534329

申请日：2009-08-03

申请人： James H. Adair ,  Mary Frecker ,  Christopher Muhlstein ,  Eric Mockensturm ,  Harriet Black Nembhard ,  Randy S. Haluck ,  Abraham Mathew ,  Nicholas Antolino ,  Gregory R Hayes ,  Milton Aguirre ,  Rebecca Kirkpatrick ,  Chumpol Yuangyai

发明人： James H. Adair ,  Mary Frecker ,  Christopher Muhlstein ,  Eric Mockensturm ,  Harriet Black Nembhard ,  Randy S. Haluck ,  Abraham Mathew ,  Nicholas Antolino ,  Gregory R Hayes ,  Milton Aguirre ,  Rebecca Kirkpatrick ,  Chumpol Yuangyai

IPC分类号： B32B1/00 ,  B32B3/00

CPC分类号： A61B17/30 ,  A61B2017/00345 ,  A61B2017/00526 ,  A61B2017/00831 ,  B81B2203/019 ,  B81C99/002 ,  B81C99/0085

摘要： A polycrystalline mesoscale component, formed through a process including filing a mold cavity formed in a photoresist with a mold fill, is provided with an overall length L divided into multiple segments with a second segment extending from a first segment at a nonlinear angle. The first segment has a first segment height H1 and a first segment thickness T1, while the second segment has a second segment height H2 and a second segment thickness T2, with the lesser of H1 and H2 defining a minimum segment height Hmin and the lesser of T1 and T2 defining a minimum segment thickness Tmin. The resultant component has a ratio of L:Hmin:Tmin of 20-80:1:0.5-10 where Hmin is between 5 and 500 microns. In specific instances, the nonlinear angle is acute, the multiple segments are rectilinear in cross section, and a segment thickness has an edge resolution of between 0.1 and 2 microns.

摘要翻译： 通过包括用模具填充物形成在光致抗蚀剂中的模具腔的方法形成的多晶中尺度部件设置有分为多个段的总长度L，第二段以非线性角度从第一段延伸。 第一段具有第一段高度H1和第一段厚度T1，而第二段具有第二段高度H2和第二段厚度T2，其中较小的H1和H2限定最小段高度Hmin，并且较小的 T1和T2限定最小段厚度Tmin。 所得组分的比例为20：80：1：0.5-10的L：Hmin：Tmin，其中Hmin为5至500微米。 在具体情况下，非线性角度是锐角的，多个截面的横截面是直线的，而段的厚度分辨率在0.1到2微米之间。