公开(公告)号：US20070132979A1

公开(公告)日：2007-06-14

申请号：US11482122

申请日：2006-07-07

Applicant: Joeri Lof ,  Erik Maria Bijlaart ,  Roelof Aeilko Ritsema ,  Frank Schaik ,  Timotheus Sengers ,  Klaus Simon ,  Joannes De Smit ,  Arie Den Boef ,  Hans Butler ,  Sjoerd Lambertus Donders ,  Christiaan Hoogendam ,  Marcus Van De Kerkhof ,  Aleksey Kolesnychenko ,  Mark Kroon ,  Erik Loopstra ,  Hendricus Maria Meijer ,  Jeroen Sophia Maria Mertens ,  Johannes Hubertus Mulkens ,  Joost Ottens ,  Alexander Straaijer ,  Bob Streefkerk ,  Helmar Santen

Inventor： Joeri Lof ,  Erik Maria Bijlaart ,  Roelof Aeilko Ritsema ,  Frank Schaik ,  Timotheus Sengers ,  Klaus Simon ,  Joannes De Smit ,  Arie Den Boef ,  Hans Butler ,  Sjoerd Lambertus Donders ,  Christiaan Hoogendam ,  Marcus Van De Kerkhof ,  Aleksey Kolesnychenko ,  Mark Kroon ,  Erik Loopstra ,  Hendricus Maria Meijer ,  Jeroen Sophia Maria Mertens ,  Johannes Hubertus Mulkens ,  Joost Ottens ,  Alexander Straaijer ,  Bob Streefkerk ,  Helmar Santen

IPC: G03B27/72

CPC classification number: G03F7/70141 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/7085 ,  G03F7/70883

Abstract: A lithographic projection apparatus is disclosed in which a space between the projection system and a sensor is filled with a liquid.