公开(公告)号：US07597186B2

公开(公告)日：2009-10-06

申请号：US11616252

申请日：2006-12-26

申请人： Yun-Sheng Chung ,  Fu-Ching Tung ,  Hsin-Hung Huang

发明人： Yun-Sheng Chung ,  Fu-Ching Tung ,  Hsin-Hung Huang

IPC分类号： B65G35/00

CPC分类号： G03G15/6529 ,  B65G54/02

摘要： A substrate transport device includes a chamber, a rotary wheel, a first magnet, a carrier, and a second magnet. The rotary wheel is disposed outside the chamber. The first magnet is disposed on the rotary wheel. The carrier is disposed in the chamber. The second magnet is disposed on the carrier.

摘要翻译： 基板输送装置包括室，旋转轮，第一磁体，载体和第二磁体。 旋转轮设置在室外。 第一磁铁设置在旋转轮上。 载体设置在腔室中。 第二磁体设置在载体上。

公开(公告)号：US20080038020A1

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：US11616252

申请日：2006-12-26

申请人： Yun-Sheng Chung ,  Fu-Ching Tung ,  Hsin-Hung Huang

发明人： Yun-Sheng Chung ,  Fu-Ching Tung ,  Hsin-Hung Huang

IPC分类号： G03G15/08

CPC分类号： G03G15/6529 ,  B65G54/02

摘要： A substrate transport device includes a chamber, a rotary wheel, a first magnet, a carrier, and a second magnet. The rotary wheel is disposed outside the chamber. The first magnet is disposed on the rotary wheel. The carrier is disposed in the chamber. The second magnet is disposed on the carrier.

摘要翻译： 基板输送装置包括室，旋转轮，第一磁体，载体和第二磁体。 旋转轮设置在室外。 第一磁铁设置在旋转轮上。 载体设置在腔室中。 第二磁体设置在载体上。