公开(公告)号：US07869556B2

公开(公告)日：2011-01-11

申请号：US11792740

申请日：2005-12-09

申请人： Gregor Morfill ,  Uwe Konopka ,  Hubertus M. Thomas ,  Wolfgang Jacob ,  Beatrice Annaratone ,  Martin Fink ,  Noriyoshi Sato ,  Tetsuji Shimizu ,  Timo Stuffler

发明人： Gregor Morfill ,  Uwe Konopka ,  Hubertus M. Thomas ,  Wolfgang Jacob ,  Beatrice Annaratone ,  Martin Fink ,  Noriyoshi Sato ,  Tetsuji Shimizu ,  Timo Stuffler

IPC分类号： H05H1/18

CPC分类号： H01J37/32431 ,  H01J37/32036 ,  H01J37/32568

摘要： A method for the operation of a plasma device (100) is described in which particles (2) are arranged in a plasma, wherein a generation of electric travelling waves (1) is provided, under whose effective action the particles (2) in the plasma device (100) perform a directed movement to at least one pre-determined collection area (20, 20A). A plasma device for carrying out the method is also described.

摘要翻译： 描述了等离子体装置（100）的操作方法，其中颗粒（2）布置在等离子体中，其中提供电行波（1）的产生，其中有效的作用是颗粒（2）在 等离子体装置（100）对至少一个预定的收集区域（20,20A）进行定向移动。 还描述了用于执行该方法的等离子体装置。

公开(公告)号：US20080136332A1

公开(公告)日：2008-06-12

申请号：US11792740

申请日：2005-12-09

申请人： Gregor Morfill ,  Uwe Konopka ,  Hubertus M. Thomas ,  Wolfgang Jacob ,  Beatrice Annaratone ,  Martin Fink ,  Noriyoshi Sato ,  Tetsuji Shimizu ,  Timo Stuffler

发明人： Gregor Morfill ,  Uwe Konopka ,  Hubertus M. Thomas ,  Wolfgang Jacob ,  Beatrice Annaratone ,  Martin Fink ,  Noriyoshi Sato ,  Tetsuji Shimizu ,  Timo Stuffler

IPC分类号： H05H1/00

CPC分类号： H01J37/32431 ,  H01J37/32036 ,  H01J37/32568

摘要： A method for the operation of a plasma device (100) is described in which particles (2) are arranged in a plasma, wherein a generation of electric travelling waves (1) is provided, under whose effective action the particles (2) in the plasma device (100) perform a directed movement to at least one pre-determined collection area (20, 20A). A plasma device for carrying out the method is also described.

摘要翻译： 描述了等离子体装置（100）的操作方法，其中颗粒（2）布置在等离子体中，其中提供电行波（1）的产生，其中有效的作用是颗粒（2）在 等离子体装置（100）对至少一个预定的收集区域（20,20A）执行定向移动。 还描述了用于执行该方法的等离子体装置。