公开(公告)号：US5417235A

公开(公告)日：1995-05-23

申请号：US98738

申请日：1993-07-28

申请人： Kensall D. Wise ,  Janet K. Robertson ,  Jin Ji

发明人： Kensall D. Wise ,  Janet K. Robertson ,  Jin Ji

IPC分类号： B01J19/00 ,  F15C5/00 ,  F16K99/00 ,  F16K31/02

CPC分类号： F16K99/0001 ,  B01J19/0093 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0051 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0082 ,  F16K2099/0086 ,  Y10T137/0318

摘要： Micromachined microvalves are held both open and closed electrostatically to maintain uniform gas microflow and improve closure characteristics. A microflow controller containing such a valve is combined with a predetermined restricted flow path. Multiple valve/restrictive flow path combinations are integrated on a binary flow path basis. Single and/or multiple valve actuation provides precise but variable flow control. Temperature and pressure sensors can be integrally included. Various valve and controller configurations, and methods of controlling them and forming them, are disclosed.

摘要翻译： 微加工微型阀静电保持打开和关闭，以保持均匀的气体微流量并改善封闭特性。 包含这种阀的微流控制器与预定的限制流路组合。 多个阀/限制流路组合基于二进制流路集成。 单个和/或多个阀门致动提供精确但可变的流量控制。 温度和压力传感器可以整合在一起。 公开了各种阀门和控制器配置以及它们的控制和形成方法。