公开(公告)号：US06388455B1

公开(公告)日：2002-05-14

申请号：US09483138

申请日：2000-01-13

申请人： Emil Kamieniecki ,  Krzysztof E. Kamieniecki ,  Jeffrey L. Sauer ,  Janusz Butkiewicz

发明人： Emil Kamieniecki ,  Krzysztof E. Kamieniecki ,  Jeffrey L. Sauer ,  Janusz Butkiewicz

IPC分类号： G01R31302

CPC分类号： G01R31/2656 ,  G01R31/308

摘要： This invention relates to a method and apparatus for simulating a surface photo-voltage, more particularly with a photodiode on a process sized disk for calibrating surface photo-voltage measurement devices. The device for simulating a surface photo-voltage includes the photodiode, the disk, a resistor, and may further include an operational amplifier. The apparatus for simulating a surface photo-voltage of the current invention facilitates calibration of surface photo-voltage measurement devices by using a process sized disk to fit directly on a surface photo-voltage measurement chuck.

摘要翻译： 本发明涉及用于模拟表面光电压的方法和装置，更具体地说，涉及用于校准表面光电压测量装置的工艺尺寸盘上的光电二极管。 用于模拟表面光电压的装置包括光电二极管，盘，电阻器，还可以包括运算放大器。 用于模拟本发明的表面光电压的装置有助于通过使用工艺尺寸的盘直接配合在表面光电压测量卡盘上来校准表面光电压测量装置。